[实用新型]一种高纯气体回收装置

权利要求书

1.一种高纯气体回收装置，包括空分主塔(1)，所述的空分主塔(1)外还依次连接有：用于储存低温高纯产品的低温液体储槽(3)、用于回收低温液体储槽(3)的液体产品汽化和进液时排放的高纯气体的缓冲罐(5)、用于增压的膜压机(8)及用于回收经膜压机(8)增压后的高纯气体的气瓶(9)；所述的空分主塔(1)与低温液体储槽(3)之间通过管路连接有低温截止阀(2)，所述的低温液体储槽(3)与缓冲罐(5)之间通过管路依次连接有泄压阀(2a)和止回阀(4)，所述的缓冲罐(5)上还设有防爆电接点数显压力表(6)，所述的缓冲罐(5)与气瓶(9)之间通过管路依次连接有膜压机进口阀(7)、膜压机(8)、高压止回阀(4a)、膜压机出口阀(7a)及精密压力表(6a)。

2.根据权利要求1所述的一种高纯气体回收装置，其特征在于：所述的防爆电接点数显压力表(6)是用于连锁膜压机(8)，防止出现抽负压而影响产品质量。