[实用新型]显微扫描自动对焦补偿系统

权利要求书

1.显微扫描自动对焦补偿系统，包括可以在水平面沿x轴方向和y轴方向的载物台，在载物台的上方设置有用于对载物台上物品成像的物镜，其特征是：它还包括一个快速对焦模块和用于实时检测载物台在x轴和y轴位置的位置检测装置；所述快速对焦模块包括焦点z轴偏差补偿模块，所述焦点z轴偏差补偿模块为具有逆压电效应的能够在z轴方向上伸长或缩短的z轴补偿压电陶瓷、用于向z轴补偿压电陶瓷供电以改变z轴补偿压电陶瓷外电场电压的z轴补偿电压模块；物镜的上端连接z轴补偿压电陶瓷，z轴补偿压电陶瓷上端连接在支架上；位置检测装置的输出接控制器，控制器的输出接z轴补偿电压模块。

2.如权利要求1所述的显微扫描自动对焦补偿系统，其特征是：物镜设置在电动鼻轮上，控制器与电动鼻轮的电驱动装置电连接，电动鼻轮的上端连接在z轴补偿压电陶瓷上。

3.如权利要求2所述的显微扫描自动对焦补偿系统，其特征是：所述快速对焦模块还包括光轴倾斜补偿模块，所述光轴倾斜补偿模块为具有逆压电效应的能够在z轴方向上伸长或缩短的三个扇形压电陶瓷、用于分别向三个扇形压电陶瓷供电以改变三个扇形压电陶瓷外电场电压的倾斜补偿电压模块；控制器的输出接倾斜补偿电压模块；z轴补偿压电陶瓷的上端同时与三个扇形压电陶瓷相连，三个扇形压电陶瓷连接在支架上。

4.如权利要求3所述的显微扫描自动对焦补偿系统，其特征是：支架与带动其上下升降的支架升降电驱动装置相连；控制器的输出接支架升降电驱动装置。