[实用新型]一种阳极结构及具有该阳极结构的等离子发生器

权利要求书

1.一种等离子发生器的阳极结构，其特征在于，该阳极结构为中空筒体状，呈拉瓦尔喷管结构，筒体内腔沿气体介质流向方向依次为引弧放电腔(4)、等离子压缩腔(5)和等离子喷射腔(6)；其中，

所述引弧放电腔(4)的内周壁上沿周向开设有多个直接连通引弧放电腔(4)与等离子喷射腔(6)的中空孔道，作为等离子发生器接触引弧时平衡接触面前后腔体内空气介质压力的恒压孔(2)。

2.根据权利要求1所述阳极结构，其中，在引弧放电腔(4)内周壁上开设的多个恒压孔(2)沿内周壁周向上均匀分布。

3.根据权利要求1所述阳极结构，其中，所述恒压孔(2)一端开设在引弧放电腔(4)内周壁内径最大处，另一端开设在等离子压缩腔(5)和等离子喷射腔(6)交界处的壁面上。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的阳极结构，其中，所述恒压孔(2)的数量为10-16个。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的阳极结构，其中，所述恒压孔(2)径向截面形状为圆形。

6.根据权利要求5所述的阳极结构，其中，所述恒压孔(2)的孔径为2～4mm。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的阳极结构，其中，所述引弧放电腔(4)为孔径沿介质气体流向方向逐渐缩小的锥形腔，所述等离子喷射腔(6)的孔径沿介质气体流向方向逐渐增大至一定值后沿轴向保持不变。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的阳极结构，其中，所述等离子压缩腔(5)沿轴向方向的孔径不变，其直径不大于所述引弧放电腔(4)和等离子喷射腔(6)的孔径。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的阳极结构，其中，所述引弧放电腔(4)内周壁沿轴向的倾斜角度与阴极结构(3)引弧接触面沿轴向的倾斜角度一致，两者匹配接触。

10.一种具有权利要求1至9中任一项所述阳极结构的等离子发生器。