[实用新型]一种研磨石英大晶片的斜角游星轮

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种游星轮装置，具体的说，涉及了一种研磨石英大晶片的斜角游星轮。

背景技术

石英晶片是电子产业中最为重要的元件，石英晶片在生产流程中需要经过多道处理工序，以便保证石英晶片的光电转换效果和光利用率。随着石英晶体行业原材料及各辅料价格大幅度上涨，而成品石英晶片价格不断降价的总体趋势，急需通过对大尺寸晶片研磨来减少原材料的投入、增加成品产出；同时也可提高劳动效率，有效降低生产成本。现有的双面研磨机的游星轮，一般采用在游星轮模板上设置多个待研磨产品的型腔，型腔略大于工件的尺寸，除待研磨产品的型腔外，无其他腔体。由于大尺寸石英晶片的研磨面较大，利用现有研磨设备对大尺寸的石英晶片进行研磨时，会出现在研磨过程中工件接触的研磨液较少从而造成石英晶片表面产生划伤。另外，由于传统游星轮通常采用环氧板材料或金属钢制成，但是，由环氧板材制成的游星轮易磨损，强度小，使用寿命短，一般在2-3 天就会磨损报废；而金属钢结构的游星轮虽然强度大，使用寿命长，但在工作过程中其边缘易撞击大尺寸石英晶片，导致加工处理的石英晶片产品不良率提升。

为了解决以上存在的问题，人们一直在寻求一种理想的技术解决方案。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术的不足，从而提供一种研磨石英大晶片的斜角游星轮。

为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种研磨石英大晶片的斜角游星轮，它包括金属基体轮，所述金属基体轮的上表面和下表面分别固定设置有的环氧板材片；所述金属基体轮的外周面固定设置有多个轮齿，

所述金属基体轮上分别开设有第一中心孔、多个第一透液孔和多个第一石英晶片方形限位孔，多个所述第一透液孔和多个所述第一石英晶片方形限位孔围绕所述第一中心孔均匀排列在所述金属基体轮上，多个所述第一透液孔和多个所述第一石英晶片方形限位孔间隔设置，每个所述第一石英晶片方形限位孔的一边与所述金属基体轮直径的夹角均为22°30’，

所述环氧板材片上分别开设有第二中心孔、多个第二透液孔和多个第二石英晶片方形限位孔，多个所述第二透液孔和多个所述第二石英晶片方形限位孔围绕所述第二中心孔均匀排列在所述环氧板材片上，多个所述第二透液孔和多个所述第二石英晶片方形限位孔间隔设置，每个所述第二石英晶片方形限位孔的一边与所述环氧板材片直径的夹角为22°30’，所述第一中心孔与所述第二中心孔对应，所述第一透液孔和所述第二透液孔一一对应，所述第一石英晶片方形限位孔和所述第二石英晶片方形限位孔一一对应。

基于上述，所述金属基体轮的上表面和所述金属基体轮的下表面分别开设有环氧板材安装凹槽，所述环氧板材片固定设置在所述环氧板材安装凹槽内。

基于上述，所述环氧板材上和所述金属基体轮上分别还开设有销钉孔，所述销钉孔内设置有销钉。

基于上述，所述金属基体轮上表面和下表面分别通过粘结胶固定设置所述环氧板材片。

需要说明的是，石英大晶片的尺寸为石英晶片长度大于25mm、宽度大于20mm的石英晶片。

本实用新型相对现有技术具有实质性特点和进步，具体的说，本实用新型通过所提供的研磨石英大晶片的斜角游星轮，在对石英大晶片进行双面研磨时，通过开设在该斜角游星轮上的多个第一透液孔和多个第二透液孔，能有效的在圆周运动中将研磨机的上研盘流下的研磨液更多的分配到下研盘的研磨垫上，使得研磨过程中的化学反应与机械作用达到相对平衡，大大减少了机械划伤的产生，提高研磨产品的良品率。更重要的是，通过将普通的游星轮设计成上下面均固定设置有环氧板材片的22°30斜角游星轮，通过所述环氧板材片对石英大晶片边沿的保护，有效降低了石英大晶片研磨过程中造成的各种外观不良，如大角、锯齿片、角裂等，使石英大晶片研磨的合格率提高8%，研磨后的石英大晶片的散差也得到了较好的控制，对上研盘和下研盘的磨损更为均匀，特别是对研盘边沿的磨损更适用。该装置还具有结构简单，使用方便快捷等优点。

附图说明

图1是本实用新型提供的研磨石英大晶片的斜角游星轮结构拆分示意图。

图2和图3是本实用新型提供的研磨石英大晶片的斜角游星轮中金属基体轮结构示意图。

图4和图5是本实用新型提供的研磨石英大晶片的斜角游星轮中的环氧板材片结构示意图。

图中：1、金属基体轮；2、环氧板材片；3、第一中心孔；4、轮齿；5、环氧板材安装凹槽；6、第一透液孔；7、第一石英晶片方形限位孔；8、第二透液孔；9、第二石英晶片方形限位孔；10、销钉孔；11、第二中心孔。

具体实施方式