[实用新型]一种温控热气泡式光开关

权利要求书

1.一种温控热气泡式光开关，其特征在于，所述光开关采用三层结构：第一层为上层加热盖板(1)，所述上层加热盖板(1)左上角有稳压孔(6)，稳压孔(6)右边有与尖嘴池(10)位置上下相对应的微金属片(2)，微金属片(2)与导线(3)连接，上层加热盖板(1)右下角有稳压孔(7)，稳压孔7左边有与尖嘴池(11)位置上下相对应的微金属片(4)，微金属片(4)与导线(5)连接，第二层为透明介质层(8)，所述透明介质层(8)包括对角线上的微流道(9)、尖嘴池(10)、尖嘴池(11)和四个条形介质光波导(12、13、14、15)，所述四个条形介质光波导(12、13、14、15)位于同一水平面上，微流道(9)位于透明介质层(8)的对角线上，所述尖嘴池(10)、尖嘴池(11)为三棱柱状，三角面朝上，轴对称分布于微流道两侧壁，且与微流道相通，第三层为底层芯片(16)。

2.根据权利要求1所述的一种温控热气泡式光开关，其特征在于：所述微流道(9)充满匹配液，两端分别与稳压孔(6、7)相通，匹配液是通过稳压孔(6、7)向微流道中注入的，其折射率与透明介质层(8)相同或相近，匹配液只需要充满微流道即可。

3.根据权利要求1所述的一种温控热气泡式光开关，其特征在于：所述光开关的上层加热盖板(1)的下表面与透明介质层(8)的上表面和透明介质层(8)的下表面与底层芯片(16)的上表面都是通过等离子辅助键合方式连接。

4.根据权利要求1所述的一种温控热气泡式光开关，其特征在于：所述光开关通过对微金属片(2、4)的通电、断电操作，以及通电时间长短，能控制气泡的生长和冷凝，调整气泡在微流道中的大小，从而控制光束的全透射和全反射，实现光开关的“关”和“开”动作。

5.根据权利要求1所述的一种温控热气泡式光开关，其特征在于：所述光开关的微金属片面积小，能在需要的地方实现局部加热；尖嘴池体积小，尖头设计能迅速使液体汽化，产生气泡；芯片设计轴对称。