[实用新型]微观缺陷检测装置及显微镜

说明书

技术领域

本实用新型属于显示技术领域，具体涉及一种微观缺陷检测装置及显微镜。

背景技术

在薄膜晶体管(英文：Thin Film Transistor；简称：TFT)领域中，显微镜是使用非常普遍的设备。在分析被测对象(如显示面板)的不良时，可以使用显微镜观察被测对象的微观形貌，检测被测对象上存在微观缺陷(如显示面板的不良点)的区域，然后标记该区域中的微观缺陷，进行微观分析等。

现有技术中有一种微观缺陷检测装置，在使用该装置检测被测对象上存在微观缺陷的区域后，采用人工标记的方式标记该区域中的微观缺陷，具体的，工作人员用记号(Mark)笔在被测对象的表面画圈，使该微观缺陷位于工作人员所画的圈内。由于显微镜的存在，工作人员每次都是斜视微观缺陷，完成微观缺陷的标记过程。此时即使手法娴熟、Mark笔足够细也无法得到精准的存在微观缺陷的区域。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种精准标记显示面板上的微观缺陷的微观缺陷检测装置及检测方法。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是一种微观缺陷检测装置，包括：检测组件、标记组件、转换组件；其中，所述检测组件和所述标记组件均设置在所述转换组件上；所述转换组件与显微镜连接；

所述检测组件，具有第一视区，用于检测显示面板上存在微观缺陷的位置；

所述转换组件，用于在所述检测组件检测出存在微观缺陷的位置，将所述标记组件旋转至存在微观缺陷的第一视区；

所述标记组件，具有第二视区，用于在所述存在微观缺陷的位置的第一视区中确定出存在所述微观缺陷的位置，并对该位置进行标记；所述第二视区的面积小于所述第一视区的面积。

优选的是，所述第一视区的中心与所述第二视区的中心在所述转换组件旋转180°后重合。

优选的是，所述微观缺陷检测装置还包括驱动组件，所述转换组件通过所述驱动组件与所述显微镜连接；所述驱动组件用于驱动所述转换组件沿所述显微镜的轴线方向上下运动。

进一步优选的是，所述驱动组件包括准焦螺旋和螺纹杆；其中，

所述准焦螺旋固定在所述显微镜上，并与所述螺纹杆的一端连接；所述螺纹杆的另一端与所述转换组件连接。

进一步优选的是，所述转换组件包括：定位部件、旋转轴、承载部件；其中，

所述定位部件为中空结构，与所述驱动组件连接；

所述旋转轴设置在所述定位部件的中空结构中，且与所述承载部件连接；

所述承载部件包括相互连接的第一承载部和第二承载部；所述第一承载部用于承载所述检测组件，所述第二承载部用于承载标记组件。

进一步优选的是，所述旋转轴在与其轴线垂直的方向上设置有第一凹槽，在所述第一凹槽中沿其开口所在方向上依次设置有弹簧和定位球，所述弹簧的一端固定在所述第一凹槽底部，一端与所述定位球连接；

所述定位部件的中空结构的内壁上设置有第二凹槽，所述第二凹槽与所述定位球适配。

进一步优选的是，所述第一承载部与所述检测组件螺纹连接；所述第二承载部与所述标记组件螺纹连接。

进一步优选的是，所述标记组件设置于第二承载部之后与所述检测组件设置于第一承载部之后相比，所述标记组件到被检测的所述显示面板之间的距离比所述检测组件到被检测的所述显示面板之间的距离小2mm。

优选的是，在所述标记组件包括观测部和环绕在观测部靠近被检测所述显示面板一侧的凸起；其中，

所述观测部，用于观测所述显示面板上存在微观缺陷的位置；

所述凸起，用于在进行染色后标记存在微观缺陷的位置所在的区域。

进一步优选的是，所述观测部上的标记图案包括：平行线、圆形、矩形、三角形中的任意一种。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是一种显微镜，其包括上述的微观缺陷检测装置。

本实用新型具有如下有益效果：

由于本实用新型中的微观缺陷检测装置包括设置在显微镜上的转换组件，以及与转换组件连接检测组件和标记组件，其中，检测组件的第一视区大于标记组件的第二视区；因此，在采用检测组件在显示面板上存在微观缺陷的位置之后，可以通过转换组件将标记组件旋转至存在微观缺陷的第一视区，接下来通过标记组件在存在微观缺陷的位置的第一视区中确定出存在微观缺陷的位置，并通过该标记组件对该位置进行标记，从而可以避免的现有技术中人工标记的方式标记显示面板上的微观缺陷位置的缺陷，使得微观缺陷区域的标记更加精准，而且检测效率较高。