[实用新型]一种便于更换的离子源连接结构

权利要求书

1.一种便于更换的离子源连接结构，其特征在于：包括离子源、法兰盘和质谱室，所述离子源焊接在法兰盘上，离子源从所述质谱室一侧的开口处伸入到质谱室内，通过真空密封法兰将法兰盘与质谱室固定连接，所述法兰盘与质谱室之间设置有弹性密封圈；其中，所述离子源设有基座，所述基座上依序设有散热装置及电弧室，所述电弧室底板连接有进气管；所述散热装置设有散热本体和至少一冷却媒介管，散热本体的底面设置于基座顶面，散热本体的顶面全平面地贴平于电弧室底板的底面，散热本体对应进气管的一侧面向内凹设有贯穿其顶面及其底面的凹槽；所述冷却媒介管穿经散热本体，并自散热本体底面向下穿出两支管，各冷却媒介管通过两支管填充有流动的冷却媒介。

2.根据权利要求1所述的便于更换的离子源连接结构，其特征在于：所述冷却媒介为冷却气体或冷却液体。

3.根据权利要求1所述的便于更换的离子源连接结构，其特征在于：所述进气管的外管壁与凹槽内壁面有一间距。

4.根据权利要求1所述的便于更换的离子源连接结构，其特征在于：所述电弧室的底板及散热本体的顶面均为一长方形。

5.根据权利要求4所述的便于更换的离子源连接结构，其特征在于：所述散热本体的两相对短侧自顶面分别向下向内渐缩，散热本体的底面小于顶面。

6.根据权利要求4所述的便于更换的离子源连接结构，其特征在于：所述散热本体的两相对短侧的下部向下向内凹设一空间，散热本体的底面小于顶面。