[实用新型]基于超磁致伸缩效应的十字微悬桥光纤磁场传感探头有效

专利信息
申请号: 201720523242.8 申请日: 2017-05-05
公开(公告)号: CN206975197U 公开(公告)日: 2018-02-06
发明(设计)人: 施阳阳;刘月明;韩晓红 申请(专利权)人: 中国计量大学
主分类号: G01R33/032 分类号: G01R33/032
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 310018 浙江省杭州*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 基于 超磁致 伸缩 效应 十字 微悬桥 光纤 磁场 传感 探头
【权利要求书】:

1.一种基于超磁致伸缩效应的十字微悬桥光纤磁场传感探头,包括:光纤,对称固支端,具有中间反射体的十字微悬桥,铬金属膜,超磁致伸缩薄膜,其特征是具有中间反射体的十字微悬桥位于光纤端面,十字微悬桥长度为95μm-105μm,其中中间反射体长为30μm-40μm,宽为30μm-40μm,微悬桥厚度为3μm-5μm,四个对称固支端长度为10μm-15μm,宽度与十字微悬桥的宽度相同,为15μm-25μm,十字微悬桥与光纤端面通过四个对称固支端连接,并且构成法布里-珀罗谐振腔,形成光纤一体化结构。

2.根据权利要求1所述的一种基于超磁致伸缩效应的十字微悬桥光纤磁场传感探头,其特征是铬金属膜和超磁致伸缩薄膜依次镀在微悬桥的外表面,铬金属膜厚度为30nm-50nm,超磁致伸缩薄膜材料为TbDyFe材料,厚度为1μm-1.5μm。

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