[实用新型]掩膜板储存搬送装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及曝光工艺领域，特别是涉及一种掩膜板储存搬送装置。

背景技术

曝光工艺中，掩膜板质量的好坏直接决定曝光出的图形的优劣，这使得掩膜板的储存与搬送至关重要。

目前，一般将掩膜板装入掩膜盒中储存，然后将掩膜盒放入搬送装置中。现有技术中，掩膜盒在搬送装置中的限位方法为限位块接触式限位，在储存及搬送过程中易出现摩擦、抖动的情况，有损伤掩膜盒及掩膜板的风险，也会造成掩膜盒内灰尘微粒的扰动进而掉落在掩膜板上。沾有灰尘微粒的掩膜板必须经过清除才能够使用，增加了工作量，浪费了生产时间。

实用新型内容

基于此，有必要针对掩膜盒及掩膜板损伤的问题，提供一种防止掩膜盒在储存及搬运过程中容易摩擦、抖动的掩膜板储存搬送装置。

一种掩膜板储存搬送装置，包括：

掩膜盒，用以容纳掩膜板，其底面、左右两侧面及后端面均具有与磁性元件相互作用的结构件；

储存架，具有一个或多个放置空间，所述掩膜盒放于所述放置空间内；

第一磁性元件，设于所述放置空间的底部，与所述掩膜盒的底面的结构件相互排斥；

成对设置的第二磁性元件，分别设于所述放置空间的左右两侧，分别给所述掩膜盒的左右两侧面的结构件一个磁力，两个所述磁力大小相等方向相反；

以及第三磁性元件，设于所述放置空间的后端，与所述掩膜盒的后端面的结构件相互吸引；

其中，所述掩膜盒的底面和左右两侧面分别与所述第一磁性元件和所述第二磁性元件保持间隔，所述掩膜盒与所述第三磁性元件抵接。

上述掩膜板储存搬送装置通过磁力的作用，使掩膜盒分别与第一磁性元件和第二磁性元件保持间隔，与第三磁性元件抵接，从而使掩膜盒不会因掩膜板储存搬送装置的震动而抖动或产生摩擦，从而降低了掩膜盒及掩膜板受到损伤的风险。

在其中一个实施例中，还包括一个或多个挡件，设于所述放置空间的前端，用以防止掩膜盒从所述放置空间中滑出。

在其中一个实施例中，所述挡件为挡销。

在其中一个实施例中，还包括设于所述储存架的底部的若干个行走部件。

在其中一个实施例中，所述第一磁性元件为电磁铁或永久性磁铁。

在其中一个实施例中，所述第二磁性元件为电磁铁。

在其中一个实施例中，所述放置空间的左右两侧的第二磁性元件分别与所述掩膜盒的左右两侧的结构件相互排斥；或所述放置空间的左右两侧的第二磁性元件分别与所述掩膜盒的左右两侧的结构件相互吸引。

在其中一个实施例中，所述第三磁性元件为电磁铁。

在其中一个实施例中，所述第二磁性元件在左右方向上的位置可调。

在其中一个实施例中，所述第三磁性元件在前后方向上的位置可调。

附图说明

图1为本实用新型一优选实施例提供的掩膜板储存搬送装置的主视示意图。

图2为图1的俯视示意图。

图3为图1中将掩膜盒从放置空间拿出后的主视示意图。

图4为图3的俯视示意图。

其中，相关元件对应编号如下：

100、储存搬送装置 110、储存架 111、放置空间

112、挡板 120、掩膜盒 121、结构件

130、第一磁性元件 140、第二磁性元件 150、第三磁性元件

160、挡件

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。