[实用新型]一种真空压力控制和测量装置

说明书

技术领域

本实用新型属于真空镀膜技术领域，特别涉及一种真空压力控制和测量装置。

背景技术

等离子镀膜作为提升材料表面性能有效方法被广泛应用于消费电子、医疗器械、生活用品等领域。在等离子镀膜时，需要控制真空泵组对反应腔室抽真空，压力值采用真空计进行实时测量。常用的真空泵组由前级泵和增压泵组成，增压泵一般不能在大气压下启动，需要前级泵将反应腔室抽到规定的启动压力后才能启动，启动压力通常大于30Torr。真空计为保证测量精度通常有量程限制，大量程真空计可从常压到真空进行全量程测量，但在高真空阶段精度较低。小量程真空计量程小，高真空压力下精度更高。如果镀膜设备单独采用大量程真空计可以满足增压泵启动压力的测量，但难以满足镀膜工艺要求的高精度要求，而单独采用小量程真空计可以满足镀膜工艺要求的高精度，又由于量程低于增压泵启动压力，无法为增压泵的启动提供压力检测。

实用新型内容

为了解决现有技术存在的上述问题，本实用新型提供一种真空压力控制和测量装置，结构简单，操作方便。本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案如下：

本实用新型所采用的技术方案如下：

一种真空压力控制和测量装置，其特征是：该装置包括反应腔室，所述反应腔室与真空泵组增压泵连通，所述真空泵组增压泵前端与真空泵组前级泵连通；所述反应腔室分别与大量程真空计和小量程真空计连接；所述反应腔室与小量程真空计之间设置有阀门。

所述反应腔室的腔容积为50L～1000L，材质为铝合金或不锈钢。

所述真空泵组前级泵为干式螺杆泵、罗茨泵、分子泵或水环泵，抽速为50～3000m³/h。

所述真空泵组增压泵为罗茨泵、螺杆泵、分子泵或水环泵，抽速为50～3000m³/h。

所述大量程真空计为皮拉尼真空计、薄膜电容真空计、冷阴极真空计或热阴极真空计，量程为0～1000Torr。

所述小量程真空计为皮拉尼真空计、薄膜电容真空计、冷阴极真空计或热阴极真空计，量程为0～1Torr。

所述阀门为球阀、角阀、蝶阀或插板阀。

当真空压力控制和测量装置启动工作时，真空泵组前级泵常压下首先启动，通过接口及管路对反应腔室抽气使腔室内压力下降。大量程真空计通过接口和反应腔室直接连通测量腔室内压力，当测量到反应腔室内压力小于真空泵组增压泵启动压力后，启动真空泵组增压泵抽气使反应腔室内压力继续下降。当大量程真空计测量出腔室内压力下降到小量程真空计量程范围后，阀门打开，连通反应腔室和小量程真空计，此后将采用小量程真空计进行测量并以此作为镀膜工艺压力测量值。

综上，本实用新型可提供一种结构简单、使用方便的一种真空压力控制和测量装置，具有以下优点：

(1)通过大量程真空计可以自动控制真空泵组增压泵的启动；

(2)通过小量程真空计可以精确测控镀膜工艺的真空压力。

附图说明

图1为一种真空压力控制和测量装置的示意图。

图中：1、反应腔室，2、真空泵组前级泵，3、真空泵组增压泵，4、大量程真空计，5、小量程真空计，6、阀门。

具体实施方式

下面结合具体实施例及附图详细说明本实用新型，但本实用新型并不局限于具体实施例。

实施例1：

一种真空压力控制和测量装置，其特征是：该装置包括反应腔室，所述反应腔室与真空泵组增压泵连通，所述真空泵组增压泵前端与真空泵组前级泵连通；所述反应腔室分别与大量程真空计和小量程真空计连接；所述反应腔室与小量程真空计之间设置有阀门。

所述反应腔室的腔容积为50L，材质为铝合金。

所述真空泵组前级泵为干式螺杆泵，抽速为50m³/h。

所述真空泵组增压泵为罗茨泵，抽速为50m³/h。

所述大量程真空计为皮拉尼真空计，量程为0～1000Torr。

所述小量程真空计为皮拉尼真空计，量程为0～1Torr。

所述阀门为球阀。