[实用新型]用于光学元件的激光预处理装置

权利要求书

1.一种用于光学元件的激光预处理装置，其特征在于，包括：

用于发出激光的激光光源；

依次设置在激光传输方向上的分光劈板、反射镜、光束整形系统和放置待处理光学元件的电动平移台；

其中，激光光源发出的激光经分光劈板之后经反射镜传输至光束整形系统，光束整形系统对激光进行光束整形，将本身高斯分布的激光光斑整形成平顶均匀分布的方光斑，最后辐照到光学元件表面来对光学元件进行激光预处理。

2.如权利要求1所述的用于光学元件的激光预处理装置，其特征在于，还包括：

用于检测激光能量的激光能量计，其设置在所述分光劈板的反射光方向上；

用于产生准直光的准直光源，其设置在所述反射镜反射面的入射光方向上；所述准直光源产生的准直光经反射镜反射之后将与激光同轴，便于肉眼观察激光所辐照到的位置。

3.如权利要求1所述的用于光学元件的激光预处理装置，其特征在于，所述的激光光源为紫外准分子激光器。

4.如权利要求1所述的用于光学元件的激光预处理装置，其特征在于，所述的反射镜为镀有对355nm波长减反且对632nm波长高反薄膜的反射镜，且与激光光束成45°放置。

5.如权利要求2所述的用于光学元件的激光预处理装置，其特征在于，所述的准直光源为氦氖激光器。

6.如权利要求1所述的用于光学元件的激光预处理装置，其特征在于，所述的光束整形系统包括依次位于激光光路上的复眼透镜组、倍率切换结构和会聚透镜组；所述的复眼透镜组用于匀滑激光入射光束，再经倍率切换机构和会聚透镜组聚焦后形成矩形的平顶能量分布。

7.如权利要求6所述的用于光学元件的激光预处理装置，其特征在于，所述的倍率切换结构包括：六边形的手动转盘结构，其六个面分别作为一个输入端，使手动转盘结构实现六种输入和输出；所述六个面的两个相对面的方向上安装了两个不同倍率的扩束器，组成两个扩束镜组，另一个相对面的方向上安装直通孔；其中，直通孔对应的两个面倍率一致，扩束器分别由两端输入，形成两种倍率；六个输入端可以通过手动转盘结构转动实现五档的倍率切换，从而输出五种不同面积的光斑。