[实用新型]一种用于检测蒸发器蒸发量的晶振探头有效

专利信息
申请号: 201720537627.X 申请日: 2017-05-15
公开(公告)号: CN206772938U 公开(公告)日: 2017-12-19
发明(设计)人: 向勇;孙力;曹德 申请(专利权)人: 成都西沃克真空科技有限公司
主分类号: G01N33/00 分类号: G01N33/00;G01B17/02
代理公司: 成都新驱科为知识产权代理事务所(普通合伙)51251 代理人: 成实
地址: 610091 四川省成都*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 检测 蒸发器 蒸发量 探头
【权利要求书】:

1.一种用于检测蒸发器蒸发量的晶振探头,主要由前端主体(1),通过连接体(2)连接在前端主体(1)上的后端主体(3),以及设置在前端主体(1)上的晶振盒组成;其特征在于,在连接体(2)上设置有驱动电机(8);所述晶振盒包括承载体(5),设置在承载体(5)上的检测组件,以及与检测组件相连接的信号传输组件;所述驱动电机(8)的转轴与检测组件相连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于检测蒸发器蒸发量的晶振探头,其特征在于:所述检测组件包括设置在承载体(5)上的晶片承接台(502),和设置在晶片承接台(502)上的晶振片(503),所述晶片承接台(502)与驱动电机(8)相连接,所述晶振片(503)的数量为2个以上;所述信号传输组件包括与晶片承接台(502)相配合的三爪绝缘背板(504),设置在三爪绝缘背板(504)上且与晶振片(503)相配合的三爪片(505),以及与三爪片(505)相连接的三爪背板(506);所述三爪绝缘背板(504)通过螺栓(509)连接在晶片承接台(502)上。

3.根据权利要求2所述的一种用于检测蒸发器蒸发量的晶振探头,其特征在于:所述驱动电机(8)的转轴上设置有用于控制驱动电机(8)转动角度的编码器(4),该驱动电机(8)的转轴上还设置有用于调节驱动电机(8)转速的变速器(7);所述驱动电机(8)通过变速器(7)和连接轴(6)与晶片承接台(502)相连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于检测蒸发器蒸发量的晶振探头,其特征在于:所述承载体(5)上设置有贯穿其底部的检测孔(507);所述晶片承接台(502)上设置有用于安装晶振片(503)的凹槽,且该凹槽底部设置有与检测孔(507)相对应的通孔。

5.根据权利要求4所述的一种用于检测蒸发器蒸发量的晶振探头,其特征在于:所述三爪绝缘背板(504)上设置有与晶片承接台(502)相对应的安装槽,且该安装槽上设置有贯穿其底部的安装孔;所述三爪片(505)设置在三爪绝缘背板(504)的安装槽内,所述三爪背板(506)则设置在三爪绝缘背板(504)的安装孔内,所述三爪片(505)通过螺钉与三爪背板(506)相连接。

6.根据权利要求5所述的一种用于检测蒸发器蒸发量的晶振探头,其特征在于:所述连接体(2)上设置了安装口和安装支臂,所述驱动电机(8)安装在的安装支臂上,所述变速器(7)则安装在连接体(2)上的安装孔内。

7.根据权利要求6所述的一种用于检测蒸发器蒸发量的晶振探头,其特征在于:所述前端主体(1)内还设置有屏蔽线(9),该屏蔽线(9)的一端通过接头(13)连接在连接体(2)上、另一端通过接线座(15)前端主体(1)上;所述前端主体(1)上还设置有与接线座(15)电连接的弹簧探针(11),该弹簧探针(11)的探针贯穿前端主体(1)后与三爪背板(506)相连接。

8.根据权利要求7所述的一种用于检测蒸发器蒸发量的晶振探头,其特征在于:所述后端主体(3)上设置有与接头(13)电连接的接口(14);所述编码器(4)的信号输出接口设置在后端主体(3)的外侧;所述后端主体(3)上设置有进水接头(16)和出水接头(17)。

9.根据权利要求2~8任一项所述的一种用于检测蒸发器蒸发量的晶振探头,其特征在于:所述前端主体(1)的前端还设置有用于冷却晶振盒的水冷腔(10),该水冷腔(10)通过水管分别与进水接头(16)和出水接头(17)相连接。

10.根据权利要求9所述的一种用于检测蒸发器蒸发量的晶振探头,其特征在于:所述晶片承接台(502)上设置有用于安装连接轴(6)的轴套(501),该连接轴(6)通过螺钉固定在轴套(501)内;所述轴套(501)外侧设置有固定三爪背板(506)的定位销(508);所述三爪绝缘背板(504)上设置有与定位销(508)相配合的卡槽;所述前端主体(1)外侧上还设置有用于固定前端主体(1)的安装法兰(12)。

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