[实用新型]可自动启闭外盖的基板容器结构有效
申请号: | 201720554509.X | 申请日: | 2017-05-18 |
公开(公告)号: | CN206742212U | 公开(公告)日: | 2017-12-12 |
发明(设计)人: | 黄世钦;李嘉龄 | 申请(专利权)人: | 中勤实业股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙)11301 | 代理人: | 郑玉洁 |
地址: | 中国台湾桃*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 自动 启闭 容器 结构 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种可自动启闭外盖的基板容器结构,特别是指在盒体与外盖间设有外盖启闭机构,使放置在工作站或机台的台面上时,可自动开启其外盖的结构。
背景技术
在现今的高科技产业中,有许多精密产品的制造都是由各种基板为最初始的素材开始制作的。例如半导体集成电路制造过程中所使用的硅芯片。由于这些基板通常都十分薄而易碎,同时又需时时保持其表面的洁净,因此在搬运时大多是放入基板传送盒等专用的基板容器内,再利用这些专用的基板容器来进行搬送。
但,为了同时满足高科技产业洁净度、可靠度及高度自动化的需求,目前许多基板容器的外盖都需要使用专用的设备来进行开启或关闭,因此大幅增加了设备建置的成本。同时,也由于这些现有的基板容器结构主要是为了配合这些自动化设备而设计的,因此当需要采取人工操作时,操作人员又需要使用特殊的工具才能开启或关闭这些基板容器的外盖。如此一来,不仅又会使得相关产业再增加购置这些特殊工具的成本,并且也造成操作人员作业上的不便。这些问题,都是目前相关产业所极欲改进及克服的问题。
实用新型内容
有鉴于此,本发明人本于多年从事相关产品的制造开发与设计经验,针对上述的目标,详加设计与审慎评估后,终得一确具实用性的本实用新型。
本实用新型的主要目的,在于提供一种可自动启闭外盖的基板容器结构,以使基板容器被放置于特定的操作位置,例如半导体制程中的工作站或各种机台的台面上时,可自动开启其外盖,而不需使用特别的外盖开关设备或工具。如此除了可以大幅节省昂贵的设备成本之外,还可简化基板的取放过程。
为达到上述目的,本实用新型提供一种可自动启闭外盖的基板容器结构的第一实施例,包括:一盒体;一外盖;以及一外盖启闭机构。该盒体内具有一容置空间,并在该盒体的前端设有一前开口;该外盖可开启地设于该前开口处,且与该前开口相对应以密闭盖合于该前开口;该外盖启闭机构包括:至少一压杆,各压杆可转动或滑动地设于该盒体一侧边的一安装机构,令该盒体被放置于一设有至少一与该压杆外侧端对应的顶推部的操作位置时,该压杆的该外侧端受到对应的该顶推部的顶推;至少一连动杆,其与该压杆呈一对一对应设置,且各连动杆通过其杆体两端间的一转轴而枢设于该盒体的一侧,该连动杆一端枢接于对应的该压杆内侧端;及至少一传动件,其与该连动杆呈一对一对应设置,且各传动件的一端与对应的该连动杆未连接该压杆的一端连接,而该传动件的另一端则与该外盖相接。
借此,当组成的基板容器的该盒体被放置到该操作位置时,该压杆因该外侧端受到该顶推部的顶推而转动或向该盒体内侧动作,同时利用杠杆原理而推动该连动杆转动,进而带动该传动件动作,再连带带动该外盖动作以开启该前开口;当该盒体被移离该操作位置而使该外侧端不再受到该顶推部的顶推时,该压杆、该连动杆、该传动件及该外盖则自动恢复至该外盖关闭状态时的位置。
为达到上述目的,本实用新型另外提供一种可自动启闭外盖的基板容器结构,包括:一盒体;一外盖;以及一外盖启闭机构。该盒体内具有一容置空间,并在该盒体的前端设有一前开口;该外盖可开启地设于该前开口处,且与该前开口相对应以密闭盖合于该前开口;该外盖启闭机构包括:至少一压杆,各压杆可转动或滑动地设于该盒体一侧边的一安装机构,令该盒体被放置于一设有至少一与该压杆外侧端对应的顶推部的操作位置时,该压杆的该外侧端受到对应的该顶推部的顶推;至少一第一连动杆,其与该压杆呈一对一对应设置,且各第一连动杆通过其杆体两端间的一第一转轴而枢设于该盒体的一侧,该第一连动杆一端枢接于对应的该压杆内侧端;及至少一第二连动杆,其与该第一连动杆呈一对一对应设置,且各第二连动杆通过其杆体两端间的一第二转轴而枢设于该盒体的一侧,且该第二连动杆一端枢接于对应的该第一连动杆未与该压杆连接的一端,另一端则枢接于该外盖靠近底端处。
借此,当组成的基板容器的该盒体被放置到该操作位置上时,该压杆因该外侧端受到该顶推部的顶推而转动或向该盒体内侧动作,同时推动该第一连动杆再带动该第二连动杆转动,然后通过该第二连动杆驱使该外盖动作以开启前开口;当该盒体被移离该操作位置而使该外侧端不再受到该顶推部的顶推时,该压杆、该第一连动杆、该第二连动杆及该外盖则自动恢复至该外盖关闭状态时的位置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造