[实用新型]一种高纯化学品容器清洗控制系统有效
申请号: | 201720555428.1 | 申请日: | 2017-05-18 |
公开(公告)号: | CN206794308U | 公开(公告)日: | 2017-12-26 |
发明(设计)人: | 朱永刚;殷福华;丁磊 | 申请(专利权)人: | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B08B9/093 | 分类号: | B08B9/093 |
代理公司: | 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙)32247 | 代理人: | 杜兴 |
地址: | 214400 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高纯 化学品 容器 清洗 控制系统 | ||
1.一种高纯化学品容器清洗控制系统,其特征在于,包括电源模块、数据采集模块、人机交互模块、控制模块和执行模块;
电源模块为高纯化学品容器清洗控制系统提供电源;
数据采集模块用于采集与清洗喷头相连通的各进液管进液阀启停时长,并向控制模块传输进液阀启停时长信号;
人机交互模块用于输入各清洗液的清洗时长和清洗液切换的间隔时长,并将清洗时长信号和间隔时长信号传输给控制模块;
控制模块接收和处理人机交互模块的清洗时长信号和间隔时长信号并存储清洗时长阈值和间隔时长阈值,控制模块接收进液阀启停时长信号并与清洗时长阈值和间隔时长阈值进行对比得到对比信号,然后向执行模块传输对比信号;
执行模块接收对比信号,控制与清洗喷头相连通的各进液管进液阀的启停和清洗装置各出液管出液阀的启停。
2.根据权利要求1所述的高纯化学品容器清洗控制系统,其特征在于,还包括显示模块,显示模块用于接收数据采集模块的进液阀启停时长信号和/或人机交互模块的清洗时长信号及和间隔时长信号和/或控制模块的对比信号,显示清洗时长阈值及间隔时长阈值和/或进液阀启停时长和/或进液阀状态切换的剩余时长。
3.根据权利要求1所述的高纯化学品容器清洗控制系统,其特征在于,还包括告警模块,告警模块用于接收控制模块的对比信号,并触发告警装置。
4.根据权利要求1所述的高纯化学品容器清洗控制系统,其特征在于,人机交互模块为选自调节旋钮、PLC的输入单元和PC机的输入单元中的一种。
5.根据权利要求2所述的高纯化学品容器清洗控制系统,其特征在于,数据采集模块还包括图像采集模块,图像采集模块用于采集高纯化学品容器的图像信息,并转化为图像信号传输给显示模块,显示模块处理图像信号并显示高纯化学品容器图像。
6.根据权利要求1所述的高纯化学品容器清洗控制系统,其特征在于,数据采集模块为计时模块。
7.根据权利要求1所述的高纯化学品容器清洗控制系统,其特征在于,执行模块包括进液执行模块和出液执行模块,进液执行模块包括酸洗液进液阀控制模块、自来水进液阀控制模块和纯水进液阀控制模块。
8.根据权利要求7所述的高纯化学品容器清洗控制系统,其特征在于,执行模块还包括热风气阀控制模块。
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