[实用新型]一种钽粉完全钝化的装置有效
申请号: | 201720556668.3 | 申请日: | 2017-05-18 |
公开(公告)号: | CN207026474U | 公开(公告)日: | 2018-02-23 |
发明(设计)人: | 朱德忠;廖志刚;郑浩宇 | 申请(专利权)人: | 江门富祥电子材料有限公司 |
主分类号: | B22F1/02 | 分类号: | B22F1/02;C23C8/12 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人: | 赵蕊红 |
地址: | 529152 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 完全 钝化 装置 | ||
1.一种钽粉完全钝化的装置,其特征在于,所述的钽粉完全钝化的装置包括密封的真空箱体,与真空箱体相连的气体混合室;
所述的真空箱体含有一个底板部、一个顶部、4个侧壁和一个在前侧壁上部与顶部相接的透明窗部;
至少两个设置在侧壁上的可伸入箱体内的手套洞;
一个设置在侧壁上,通过橡皮圈密封的进出物料口;
所述的真空箱体顶部设有排气管和抽空管道;
所述的气体混合室设有惰性气体进气管和含氧气体进气管;
所述的钽粉完全钝化的装置还含有混合气体进气管,混合气体的进气管一端与真空箱体连接,另一端与气体混合室连接。
2.根据权利要求1所述钽粉完全钝化的装置,其特征在于,所述的透明窗部倾斜。
3.根据权利要求1所述钽粉完全钝化的装置,其特征在于,至少设置三个手套洞。
4.根据权利要求3所述钽粉完全钝化的装置,其特征在于,所述的手套洞设置在前侧壁。
5.根据权利要求1所述钽粉完全钝化的装置,其特征在于,所述的排气管上和抽空管道上分别设置有阀门。
6.根据权利要求1所述钽粉完全钝化的装置,其特征在于,所述的混合气体进气管一端连接在真空箱体侧壁的下端。
7.根据权利要求6所述钽粉完全钝化的装置,其特征在于,所述的混合气体进气管一端连接到真空箱体离底板10~25厘米处。
8.根据权利要求1所述钽粉完全钝化的装置,其特征在于,所述的真空箱体顶部还设置一真空压力计。
9.根据权利要求1所述钽粉完全钝化的装置,其特征在于,所述的真空箱体还设置有测温装置。
10.根据权利要求9所述钽粉完全钝化的装置,其特征在于,所述的测温装置为热电偶。
11.根据权利要求1所述钽粉完全钝化的装置,其特征在于,所述的惰性气体进气管和含氧气体进气管上均设置有气体流量计和阀门。
12.根据权利要求1所述钽粉完全钝化的装置,其特征在于,所述的真空箱体内,还设置有筛分装置;优选地,所述的筛分装置含有旋转轴,与旋转轴相连的曲柄,曲柄下端连接筛架,筛子上有筛子。
13.根据权利要求12所述钽粉完全钝化的装置,其特征在于,所述的筛分装置含有旋转轴,与旋转轴相连的曲柄,曲柄下端连接筛架,筛子上有筛子。
14.根据权利要求13所述钽粉完全钝化的装置,其特征在于,筛架底部离底板部不低于20cm。
15.根据权利要求13所述钽粉完全钝化的装置,其特征在于,所述筛子的孔径为40目~100目。
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