[实用新型]一种无液滴多弧蒸发离化源结构

权利要求书

1.一种无液滴多弧蒸发离化源结构，所述离化源包括靶材，所述靶材具有产生靶材蒸发粒子的蒸发放电表面，其特征在于：所述蒸发放电表面的前方、靶材蒸发粒子通过的路径上，设有加热器，所述加热器设有可以让靶材蒸发粒子穿过的加热空间，所述的加热空间平行于蒸发放电表面的横截面覆盖了所述蒸发放电表面、且其与所述靶材的蒸发放电表面之间的间距为5～30cm、加热温度范围为500～3000℃。

2.根据权利要求1所述的无液滴多弧蒸发离化源结构，其特征在于：所述的加热空间纵向最短为1mm，最大为10cm。

3.根据权利要求2所述的无液滴多弧蒸发离化源结构，其特征在于：所述加热空间横截面最小等于蒸发放电表面，最大为蒸发放电表面的5倍。

4.根据权利要求3所述的无液滴多弧蒸发离化源结构，其特征在于：所述的加热器为电阻加热器，加热材料为W、Mo、Ta、C或者其他电阻加热材料，所述加热器的发热面由细丝状或薄片状的发热条相互平行或相互交错组装而成。

5.根据权利要求4所述的无液滴多弧蒸发离化源结构，其特征在于：所述的电阻加热器由若干长矩形薄片状的电阻发热片构成，各发热片面面相对相互平行且对齐、长度方向为水平，宽度方向为垂直，各发热片头尾以导线依次串联或并联，各发热片之间的空间即加热空间，宽度即加热空间纵向。

6.根据权利要求3所述的无液滴多弧蒸发离化源结构，其特征在于：所述加热器还可以为感应加热器。

7.根据权利要求6所述的无液滴多弧蒸发离化源结构，其特征在于：所述的感应加热器为一个外表面绕有电感线圈的圆管，轴线垂直于所述靶材的蒸发放电表面，圆管内孔即加热空间也即靶材蒸发粒子通过路径，圆管内径至少覆盖了靶材的蒸发放电表面。

8.根据权利要求1至7任意一项所述的无液滴多弧蒸发离化源结构，其特征在于：所述无液滴多弧蒸发离化源结构还设有放电弧斑屏蔽罩。

9.根据权利要求8所述的无液滴多弧蒸发离化源结构，其特征在于：在所述靶材的一侧设有靶材电弧放电弧斑约束磁场。