[实用新型]用于检测空气质量的器件

权利要求书

1.一种用于检测空气质量的器件，其特征在于，包括：

衬底；

加热器，其形成在所述衬底上，所述加热器具有：

第一主要部分，其在第一方向上延伸；

多个第二部分，其在第二方向上从所述第一主要部分延伸，所述第二方向横向于所述第一方向；以及

有源传感器区域，其在所述加热器上方。

2.如权利要求1所述的器件，其特征在于，所述加热器和所述有源传感器区域被耦合在一起。

3.如权利要求2所述的器件，其特征在于，进一步包括：

第一电介质层，其在所述衬底上，所述加热器在所述第一电介质层上；

第二电介质层，其在所述加热器上；

有源传感器层；

第三电介质层，其在所述有源传感器层上，所述第三电介质层包括开口，所述开口暴露所述有源传感器层的所述有源传感器区域。

4.如权利要求1所述的器件，其特征在于，所述多个第二部分包括具有第一面积的第一延伸件以及具有第二面积的第二延伸件。

5.如权利要求4所述的器件，其特征在于，所述第一面积大于所述第二面积。

6.如权利要求4所述的器件，其特征在于，所述第一面积与所述第二面积具有相同的面积。

7.如权利要求1所述的器件，其特征在于，所述加热器包括第一层和第二层，所述第一层包括开口并且所述第一主要部分和所述多个第二部分由所述第二层形成，所述第一层中的所述开口的区域涵盖所述第一主要部分和所述多个第二部分的边界。

8.一种用于检测空气质量的器件，其特征在于，包括：

衬底；

加热器，其在所述衬底上，所述加热器包括：

第一导电层；

第二导电层，其在所述第一导电层上，所述第二导电层包括第一开口和第二开口；

第一有源传感器层，其在所述衬底上；以及

第一电介质层，其在所述第一有源传感器层上，所述第一电介质层包括第三开口，所述第三开口暴露所述有源传感器层的第一有源传感器区域。

9.如权利要求8所述的器件，其特征在于，所述有源传感器区域与所述第二导电层中的所述第一开口和所述第二开口对准并且定位在所述第一开口和所述第二开口上方。

10.如权利要求8所述的器件，其特征在于，所述有源传感器层耦合到所述加热器。

11.如权利要求8所述的器件，其特征在于，进一步包括在所述加热器上的第二有源传感器层，所述第一有源传感器层与所述第二导电层的所述第一开口对准并且所述第二有源传感器层与所述第二导电层的所述第二开口对准，所述第一电介质层包括第四开口，所述第四开口暴露所述第二有源传感器层的第二有源传感器区域。

12.如权利要求11所述的器件，其特征在于，所述第一有源传感器层的第一端与所述第二有源传感器层的第一端耦合在一起，并且所述第一有源传感器层的第二端耦合到第一端子并且所述第二有源传感器层的第二端耦合到第二端子，所述第一端子和所述第二端子被分别控制。

13.一种用于检测空气质量的器件，其特征在于，包括：

衬底；

加热器，其在所述衬底上；

无源导热板，其在所述加热器上；

有源传感器层，其在所述无源导热板上；以及

第一电介质层，其在所述有源传感器层上，所述第一电介质层包括第一开口，所述第一开口暴露有源传感器区域。

14.如权利要求13所述的器件，其特征在于，所述加热器包括在所述衬底上的第一导电层以及在所述第一导电层上的第二导电层，所述第二导电层包括暴露所述第一导电层的表面的多个第二开口。