[实用新型]一种真空涂覆机沉积室有效
| 申请号： | 201720559995.4 | 申请日： | 2017-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN206911675U | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 陈王 | 申请（专利权）人： | 重庆正峰电子有限公司 |
| 主分类号： | B05C19/04 | 分类号： | B05C19/04 |
| 代理公司： | 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司11385 | 代理人： | 董芙蓉 |
| 地址： | 402660 重庆市潼*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 涂覆机 沉积 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空涂覆机沉积室，其特征在于，包括密封的沉积室本体，沉积室本体包括第一侧壁(14)和水冷套(13)，水冷套(13)的一端和第一侧壁(14)的一端相连，水冷套(13)的另一端和第一侧壁(14)的另一端相连；水冷套(13)的冷却水出口依次和冷却水池(1)、水泵(3)、制冷机(4)、水冷套(13)的冷却水进口连通；水冷套(13)上和第一侧壁(14)相对的一侧设有派瑞林N粉进口(11)，沉积室本体的底部设有派瑞林N粉出口(12)。
2.根据权利要求1所述的一种真空涂覆机沉积室，其特征在于，沉积室本体内设有导流板(10)，导流板(10)位于沉积室本体的底部，导流板(10)上靠近第一侧壁(14)的一端设有透气孔(9)。
3.根据权利要求1所述的一种真空涂覆机沉积室，其特征在于，第一侧壁(14)上设有温度传感器(6)，温度传感器(6)和控制器(5)电连接，控制器(5)和制冷机(4)电连接。
4.根据权利要求1所述的一种真空涂覆机沉积室，其特征在于，沉积室本体上还设有真空规管(8)，真空规管(8)接有显示器(7)。
5.根据权利要求1所述的一种真空涂覆机沉积室，其特征在于，冷却水池(1)内设有搅拌装置(2)。
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