[实用新型]硅棒装卸装置及硅棒多工位加工机

权利要求书

1.一种硅棒装卸装置，其特征在于，包括：

硅棒装卸区位，设有用于承载硅棒竖立放置的硅棒承载台；

换向载具，用于作换向运动；以及

硅棒夹具，设于所述换向载具的第一安装面；

其中，通过驱动所述换向载具作换向运动，使得所述换向载具的硅棒夹具在所述硅棒装卸区位和硅棒功能区位之间转换以移送所述硅棒。

2.根据权利要求1所述的硅棒装卸装置，其特征在于，所述硅棒夹具包括：

夹具安装件，设于所述换向载具上；以及

至少两个硅棒夹持件，沿着所述夹具安装件间距设置。

3.根据权利要求2所述的硅棒装卸装置，其特征在于，所述硅棒夹持件包括：

夹臂安装座，设于所述夹具安装件上；

至少两个夹臂，活动设于所述夹臂安装座上；以及

夹臂驱动机构，用于驱动所述至少两个夹臂作开合动作。

4.根据权利要求3所述的硅棒装卸装置，其特征在于，所述夹臂驱动机构包括：

开合齿轮，设于所述夹臂上；

齿轮驱动件，具有与所述夹臂上的开合齿轮啮合的齿纹；以及

驱动源，连接于所述齿轮驱动件，用于驱动所述齿轮驱动件运动。

5.根据权利要求4所述的硅棒装卸装置，其特征在于，所述齿轮驱动件为齿条，所述齿条的相对两侧分别设有与所述至少两个第一夹臂上的开合齿轮啮合的第一齿纹；所述驱动源为用于带动所述齿条运动的气缸或电机。

6.根据权利要求2所述的硅棒装卸装置，其特征在于，所述至少两个硅棒夹持件中的至少一个硅棒夹持件设有导向驱动机构，用于驱动其沿着所述夹具安装件运动，以调节所述所述至少两个硅棒夹持件的间距。

7.根据权利要求1所述的硅棒装卸装置，其特征在于，还包括高度检测仪，设于所述换向载具上，用于检测所述硅棒的高度。

8.根据权利要求1所述的硅棒装卸装置，其特征在于，还包括平整度检测仪，设于所述换向载具的第二安装面，用于对所述硅棒进行平面平整度检测。

9.根据权利要求8所述的硅棒装卸装置，其特征在于，所述平整度检测仪包括：

接触式检测结构；

检测仪移位机构；以及

检测控制器，与所述接触式检测结构和所述检测仪移位机构连接，用于控制所述检测仪移位机构带动所述接触式检测结构移位以及控制所述接触式检测结构依序检测所述硅棒中待测面上各个检测点的相对距离。

10.一种硅棒多工位加工机，其特征在于，包括根据权利要求1-9任一项所述的硅棒装卸装置。