[实用新型]石英舟冷却柜有效
| 申请号： | 201720567149.7 | 申请日： | 2017-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN206819974U | 公开（公告）日： | 2017-12-29 |
| 发明（设计）人： | 吴俊;张凯胜;姚伟忠 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 | 代理人： | 郑云 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石英 冷却 | ||
【权利要求书】：
1.一种石英舟冷却柜，其特征在于：包括柜体(1)，所述柜体(1)包括进风腔室(2)、存风腔室(3)和冷却腔室(4)，所述进风腔室(2)上开设有进风口(5)，所述进风口(5)内固定安装有初效过滤器(6)，所述进风腔室(2)内安装有风机(7)，所述风机(7)的出气口与所述存风腔室(3)连通，所述存风腔室(3)与所述冷却腔室(4)平行设置，所述存风腔室(3)与所述冷却腔室(4)之间开设有吹风口(8)，所述吹风口(8)内固定安装有高效过滤器(9)，所述冷却腔室(4)的上方开设有排风口(10)，所述冷却腔室(4)上开设有若干气管接口(11)，所述冷却腔室(4)内设置有压差表。
2.如权利要求1所述的石英舟冷却柜，其特征在于：所述冷却腔室(4)内固定安装有若干用于存放石英舟的隔板(12)。
3.如权利要求1所述的石英舟冷却柜，其特征在于：所述冷却腔室(4)柜门的边框(13)为不锈钢，门芯(14)为钢化玻璃。
4.如权利要求1所述的石英舟冷却柜，其特征在于：所述柜体(1)底面的四个角上均固定安装有可调底脚(15)。
5.如权利要求1所述的石英舟冷却柜，其特征在于：所述柜体(1)底面的四个角上均固定安装有脚轮(16)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
