[实用新型]碳化硅浆位调整检具有效
申请号: | 201720567833.5 | 申请日: | 2017-05-19 |
公开(公告)号: | CN206819972U | 公开(公告)日: | 2017-12-29 |
发明(设计)人: | 吴俊;张凯胜;姚伟忠 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/68;H01L21/67 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 | 代理人: | 郑云 |
地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 碳化硅 调整 | ||
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池片加工技术领域,尤其是涉及一种碳化硅浆位调整检具。
背景技术
扩散炉在更换石英炉管或安装SIC浆后需对位置进行调整,现主要依靠放置石英舟托进行观察,对SIC浆位或炉管进行调整,现在使用的调整方式,调整难度大,主要依靠经验进行调整,在出现偏差时判断难度大,SIC浆位不正、炉管偏差、导轨变形都可能导致偏差,只能逐个尝试确认,耗费时间长;现有方式调整后不够精确,运行一段时间后有时会发生拖舟,出现异常事故。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是:为了克服现有技术中使用的碳化硅浆位的调整方式,调整难度大,主要依靠经验进行调整,耗费时间长;现有方式调整后不够精确,运行一段时间后有时会发生拖舟,出现异常事故的问题,提供一种碳化硅浆位调整检具。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种碳化硅浆位调整检具,包括第一卡板和第二卡板,所述第一卡板上固定安装有凸起,所述凸起的横截面形状与碳化硅浆内腔的横截面形状相同,所述第二卡板上开设有第一开口,所述第一开口的横截面形状与碳化硅浆的横截面形状相同,所述第一卡板与所述第二卡板卡和后呈圆柱形,所述凸起位于所述第一开口内,形成用于容纳碳化硅浆的安装通孔,所述安装通孔的中心轴线与所述第一卡板和第二卡板的中心轴线均位于同一平面上,所述第二卡板的下方中间开设有第二开口,第二开口用于避开石英炉管内的进气管。
本实用新型在使用时,在碳化硅浆的两端均卡设本实用新型的检具,本实用新型的检具中第一卡板上的凸起与碳化硅浆的内腔重合,第二卡板上的第一开口与碳化硅浆的外表面重合,第一卡板和第二卡板卡和在一起,将碳化硅浆卡在第一卡板和第二卡板之间,第一卡板和第二卡板卡和后呈圆柱形,即本实用新型的检具的横截面形状为圆形,石英炉管的横截面形状也为圆形,当卡设有本实用新型检具的碳化硅浆进入石英炉管后,对相应碳化硅浆位或炉管位进行调整,确保本实用新型的检具的外圆周面与炉管的内圆周面之间的间距均匀后,碳化硅浆调试完成。
为了实现第一卡板与第二卡板卡和,所述第一卡板上凸起的两侧均开设有卡槽,所述第二卡板上第一开口的两侧均设有固定卡体,所述固定卡体卡设在所述卡槽内,固定卡体卡设在卡槽内,限制了第一卡板与第二卡板之间的相对移动,防止了第一卡板与第二卡板之间的相互脱离。
为了使第一卡板与第二卡板之间的卡和与拆卸都较快捷,所述固定卡体包括两个平行且间隔设置的支撑杆,所述支撑杆上固定安装有卡块,两个所述卡块相背设置,所述卡块上设有便于插入卡槽的圆角,当支撑杆进入卡槽内,支撑杆的上表面与卡槽的底面贴合后,支撑杆上的卡块与卡槽的侧壁贴合,两个支撑杆被挤压后向对方靠拢,被挤压的支撑杆对卡槽侧壁施力,使卡块紧紧的与卡槽侧壁贴合,从而限制了第一卡板与第二卡板之间的相对移动,最终实现了第一卡板和第二卡板的卡和。
所述凸起与所述第一卡板为一体制造结构,这样更方便的加工第一卡板。
本实用新型的有益效果是:本实用新型的碳化硅桨位调整检具,在使用时,在碳化硅浆的两端均卡设本实用新型的检具,本实用新型的检具中第一卡板上的凸起与碳化硅浆的内腔重合,第二卡板上的第一开口与碳化硅浆的外表面重合,第一卡板和第二卡板卡和在一起,将碳化硅浆卡在第一卡板和第二卡板之间,第一卡板和第二卡板卡和后呈圆柱形,石英炉管的横截面形状也为圆形,当卡设有本实用新型检具的碳化硅浆进入石英炉管后,对相应碳化硅浆位或炉管位进行调整,确保本实用新型的检具的外圆周面与炉管的内圆周面之间的间距均匀后,碳化硅浆调试完成,本实用新型的检具调试简单,提升了调试效率,提高了调试精度,减小了调试误差,避免因调试误差导致的异常损失,为各炉管之间提供了统一的判定依据,避免了各炉管之间的调试差异,方便定期维护时进行检测。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的二维剖视图;
图2是本实用新型与碳化硅浆的二维装配剖视图;
图3是本实用新型中第一卡板的主视图;
图4是本实用新型中第二卡板的主视图;
图5是本实用新型的使用状态图。
图中:1.第一卡板,2.第二卡板,3.凸起,4.碳化硅浆,5.第一开口,6.安装通孔,7.第二开口,8.卡槽,9.支撑杆,10.卡块,11.石英炉管。
具体实施方式
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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