[实用新型]分割型靶材及其模具有效
| 申请号： | 201720571392.6 | 申请日： | 2017-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN207176062U | 公开（公告）日： | 2018-04-03 |
| 发明（设计）人： | 董波;张惟诚;易志根;邢志民;戴超 | 申请（专利权）人： | 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210033 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分割 型靶材 及其 模具 | ||
1.一种分割型靶材，包括相互连接的至少两个靶材组件，其特征在于，每个所述靶材组件均设有连接部，两个靶材组件中的一个靶材组件的连接部设有凸部，另一个靶材组件的连接部设有凹部，两个靶材组件通过凹凸配合连接在一起。
2.根据权利要求1所述的分割型靶材，其特征在于：所述凸部设置在连接部的中间，对应的所述凹部也设置在连接部的中间。
3.根据权利要求1所述的分割型靶材，其特征在于：所述凸部的截面形状为矩形、梯形或圆弧形，凹部的截面形状与凸部的截面形状相适应。
4.根据权利要求1所述的分割型靶材，其特征在于：所述一个靶材组件的连接部具有至少一个凸部，所述另一个靶材组件的连接部的凹部数量与该凸部的数量相同。
5.根据权利要求4所述的分割型靶材，其特征在于：所述连接部具有两个凸部，该两个凸部的截面形状均为矩形、梯形或圆弧形，凹部的截面形状与凸部的截面形状相适应。
6.根据权利要求4所述的分割型靶材，其特征在于：所述连接部具有两个凸部，所述两个凸部的截面形状不同，所述截面形状为矩形、梯形或圆弧形，凹部的截面形状与凸部的截面形状相适应。
7.一种模具，用于制作靶材，其特征在于，所述靶材为权利要求1-6任一所述的分割型靶材。
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