[实用新型]一种大口径晶体光学元件面型预测与再现的调节系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种大口径晶体光学元件面型预测与再现的调节系统和方法，属于机械设计及力学分析技术领域。

背景技术

大口径光学元件的面型控制是大型光路系统中保证光束质量的核心问题。按照光路系统搭建的一般思路来讲，解决该为题最为常见的方法就是对光路中的每一个光学元件的面型进行控制，保证所有光学元件面型都尽量接近为一个理想的平面。这样的解决方法固然没有错，然而，就算每一个光学元件的面型都控制到了相当高的水平，一个光路中所有光学元件的面型误差累加到一起就会是一个巨大的面型误差，对最终输出的光束质量的影响不容忽略。于是我们可以从相反的思路来思考这个问题，既然整个光路系统已经累积了一定的面型误差，对光束产生了一定的面型畸变，那么我们考虑在此基础上对一个光学元件施加一定的面型误差，而所施加的面型误差与光路累积的面型误差方向相反，从而对光学系统的面型误差起到一定的补偿作用，进而提高光路的输出光束质量。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种大口径晶体光学元件面型预测与再现的调节系统，采用简单易行的结构以单点标定多点耦合计算方法和周向力和力矩调整方式为基础，实现对大口径光学元件面型的精密调节。

一种大口径晶体光学元件面型预测与再现的调节系统，该调节系统包括矩形框、光学元件和组合模块；

所述组合模块固定连接在矩形框上，所述光学元件通过组合模块固定连接在矩形框内部，所述光学元件的底面与组合模块的支撑梁接触面进行接触安装，光学元件的顶面与组合模块的压力施加面和力矩施加面进行接触安装；夹持点的夹持力和力矩的大小均可进行独立调节；组合模块的力矩施加过程采用浮动加载的结构，力矩调整的过程不会对光学元件和压力调整过程产生影响。

进一步地，所述的光学元件为一个方形平板零件，其两个平面分别为底面和顶面；所述的矩形框为一个正方形的中空框体类零件，其上的一个平面为矩形框工作面，所述的矩形框工作面上有八个组合模块安装凹槽，所述的每一个组合模块安装凹槽上有两个组合模块安装平面，所述的每一个组合模块安装平面上有一个组合模块安装孔。

进一步地，所述组合模块包括两个组合模块安装螺钉，一个组合模块魔术座，一个支撑梁，一个力矩施加梁，一个压力施加梁，一个力矩定位弹簧，一个压力定位弹簧，一个中空力传感器，一个力矩调整弹簧，一个压力调整弹簧，一个力矩调整螺钉和一个压力调整螺钉；

所述的组合模块魔术座的两侧各有一个平板座，所述的一个平板座上有一个组合模块连接孔，所述的平板座上有一个一级台阶，所述的一级台阶上有一个压力定位弹簧安装孔，一个压力定位弹簧安装面，一个压力调整螺钉安装孔和一个二级台阶，所述的二级台阶上有一个支撑梁安装方形孔，一个支撑梁安装面和一个力矩调整螺钉端孔；

所述的支撑梁上有一个支撑梁接触面，一个上平行支撑梁，一个下平行支撑梁和一个支撑梁基面，所述的支撑梁基面上有一个力矩定位弹簧安装孔，一个力矩定位弹簧安装面和一个力矩调整螺钉安装孔；

所述的力矩施加梁上有一个力矩施加面一个上力矩施加梁，一个下力矩施加梁和一个力矩施加梁基面，所述的力矩施加梁基面上有一个中空力传感器安装孔，一个中空力传感器安装面和一个力矩调整螺钉连接孔；

所述的压力施加梁上有两个压力施加面，两个上压力施加梁，两个下压力施加梁和一个压力施加梁基面，所述的压力施加梁基面上有一个中空正压力传感器安装孔，一个中空正压力传感器安装面和一个压力施加梁过孔；

所述的中空力传感器为一个中间带通孔的圆环形结构件其上有一个传感器安装面，一个传感器连接面和一个传感器线缆，所述的传感器连接面上有一个压力调整弹簧安装孔，一个压力调整弹簧安装面和一个传感器过孔；