[实用新型]一种大口径光学元件的多力与力矩耦合面型精调系统有效

专利信息
申请号: 201720575983.0 申请日: 2017-05-23
公开(公告)号: CN207181784U 公开(公告)日: 2018-04-03
发明(设计)人: 秦廷海;徐旭;裴国庆;严寒;全旭松;叶朗;魏春蓉;李奇 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
主分类号: G02B7/00 分类号: G02B7/00
代理公司: 北京理工大学专利中心11120 代理人: 仇蕾安,郭德忠
地址: 621054*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 口径 光学 元件 力矩 耦合 面型精调 系统
【权利要求书】:

1.一种大口径光学元件的多力与力矩耦合面型精调系统,其特征在于,该系统包括支撑座、光学元件、基准板、八个力与力矩调整模块以及八个基准板安装螺钉;

所述支撑座有一个基准板安装面和一个支撑座凹槽面,所述基准板安装面上有八个基准板安装孔,所述支撑座凹槽面上有八个精密支撑平面;所述光学元件具有一个入射面和一个出射面;所述基准板为一个方形平板结构,其一面为力与力矩调整模块安装面,所述力与力矩调整模块安装面上有八个基准板连接孔和八个力与力矩调整模块安装凹槽,所述每一个力与力矩调整模块安装凹槽上有两个力与力矩调整模块安装台阶和两个力与力矩调整模块安装孔;力与力矩调整模块上有两个压紧单元,其中一个压紧单元与支撑光学元件的精密支撑平面的位置相对应,用于对光学元件施加正应力,另外一个压紧单元相对支撑光学元件的精密支撑平面向光学元件的外侧移动一段距离,用于对光学元件施加力矩。

2.如权利要求1所述的大口径光学元件的多力与力矩耦合面型精调系统,其特征在于,所述力与力矩调整模块包括一个力与力矩调整模块基体座,两个双自由度自适应件,两个力与力矩调整模块安装螺钉,两个板块式力传感器,两个弹簧,两个弹簧定位片,两个输入螺钉,一个T形导块,两个输入螺母,两个T形导块安装螺钉;所述力与力矩调整模块基体座为一个T字外形的中空块状零件,其上有两个基体座脚面和一个基体座连接面,所述每一个基体座脚面上有一个力与力矩调整模块连接孔,所述基体座连接面所在的平面上有两个T形导块安装孔,四个走线孔,两个板块式力传感器导向方孔,所述每个板块式力传感器导向方孔上有两个板块式力传感器限位台阶;所述每个双自由度自适应件上有一个自适应件安装螺纹面和一个交叉筋用于实现双自由度自适应调节的功能;所述板块式力传感器上有一个弹簧定位孔;所述弹簧定位片上有一个弹簧定位凸台;所述输入螺钉上有一个圆弧接触面;所述T形导块上有两个T形导块脚面两个T形导块通孔,所述每一个T形导块脚面上有一个T形导块连接孔;所述输入螺母有一个输入螺母外圆面和一个输入螺母内圆面;

所述板块式力传感器为一个外形为“互”字形的块体零件,其上有一个电路集成线用于连接传感器所需要的电源线以及其输出的信号线,有四个应变单元用于将传感器感知到的形貌变化转化为传感器的电信号变化,有一个矩形镂空用于搭建传感器的弹性变形结构、提供传感器测量电路走线空间以及创造传感器电线的密封边界,有一个双自由度自适应件安装孔,有一个上横梁用于将传感器与其固定装置连接,有一个下横梁用于将传感器与待测结构连接,有一个左竖梁用于传递所述上横梁上的作用力,有一个右竖梁用于传递所述下横梁上的作用力,有一个上变形梁和一个下变形梁均用于为所述应变单元提供微小变形;

所述光学元件通过其入射面与所述支撑座上的三个精密支撑平面进行接触安装;所述基准板采用八个基准板安装螺钉通过八个基准板连接孔与所述支撑座上的八个基准板安装孔进行连接安装;所述力与力矩调整模块采用两个力与力矩调整模块安装螺钉通过两个力与力矩调整模块连接孔与所述基准板上的两个力与力矩调整模块安装孔进行连接安装;所述双自由度自适应件与所述光学元件上的出射面进行接触安装;所述双自由度自适应件通过其上的自适应件安装螺纹面与所述板块式力传感器上的双自由度自适应件安装孔进行连接安装;所述板块式力传感器通过其自身侧面与所述力与力矩调整模块基体座上的板块式力传感器导向方孔进行接触安装;所述板块式力传感器上的电路集成线通过所述力与力矩调整模块基体座上的走线幺形孔引出;所述板块式力传感器的轴线位置通过其上的上横梁与所述力与力矩调整模块基体座上的板块式力传感器限位台阶来进行限位;所述弹簧通过所述弹簧定位孔实现其与所述板块式力传感器之间的定位;所述弹簧定位片通过其上的弹簧定位凸台实现其与所述弹簧之间的定位;所述输入螺钉通过其上的圆弧接触面与所述弹簧定位片进行接触安装;所述输入螺钉通过所述输入螺母内圆面与所述输入螺母进行连接安装;所述输入螺母通过其自身的输入螺母外圆面与所述T形导块上的T形导块通孔进行连接安装;所述T形导块采用两个T形导块安装螺钉通过所述T形导块连接孔与所述力与力矩调整模块基体座上的T形导块安装孔进行连接安装。

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