[实用新型]一种材料表面处理装置

权利要求书

1.一种材料表面处理装置，其特征在于：包括机箱、进电结构和П型阴极，通过П型阴极可以在机箱内部形成非隔离的完整等离子空间，能将待处理产品一次性完全放置上述空间内，所述П型阴极是一种由多面、非平行布置的电极板组成的空心阴极结构，上述П型阴极通过固定装置放置于机箱内，与进电结构的连接面和进电结构的轴线呈非平行设置，所述П型阴极和进电结构之夹层采用绝缘材料阻隔，所述绝缘材料与所述П型阴极尺寸配对耦合，且所述П型阴极位于所述绝缘材料内侧面上，上述材料表面处理装置的机箱内为真空腔，由位置盖板进行密封。

2.如权利要求1所述一种材料表面处理装置，其特征在于：所述П型阴极为L型两面空心阴极，两面阴极板呈90°。

3.如权利要求1所述一种材料表面处理装置，其特征在于：所述П型阴极为三面空心阴极，由三面阴极板相互垂直构成呈U型的结构。

4.如权利要求1所述一种材料表面处理装置，其特征在于：所述П型阴极为四面空心阴极，由四块电极板相互垂直构成半封闭六面体结构。

5.如权利要求1所述一种材料表面处理装置，其特征在于：所述П型阴极为五面空心阴极，由五块电极板相互垂直构成阴极区域。

6.如权利要求1所述一种材料表面处理装置，其特征在于：所述П型阴极为一端封闭的圆筒形空心阴极。

7.如权利要求2-6任一项所述的一种材料表面处理装置，其特征在于：所述装置是由多个所述П型阴极构成的组合式П型阴极结构。