[实用新型]一种张网装置有效
申请号: | 201720578738.5 | 申请日: | 2017-05-23 |
公开(公告)号: | CN206711923U | 公开(公告)日: | 2017-12-05 |
发明(设计)人: | 郭登俊;靳福江;张健;孙朴;张德 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;C23C14/24 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人: | 许静,刘伟 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及显示器制造技术领域,尤其涉及一种张网装置。
背景技术
目前,有机电致发光显示器件(Organic Electroluminesecent Display,OLED)凭借其低功耗、高色饱和度、广视角、薄厚度、能实现柔性化等优异性能,已经逐渐成为显示领域的主流。
目前,OLED显示器件的全彩显示一般包括红(R)绿(G)蓝(B)子像素独立发光或白光OLED结合彩色滤光片等方式。当OLED显示器件的RGB子像素采用并置像素排列方式时,在制备发光层的过程中主要采用高精度金属掩膜版(Fine Metal Mask,FMM)技术,其是通过蒸镀方式将OLED材料按照预定程序蒸镀到LTPS(低温多晶硅)背板上,利用FMM上的图形,形成红绿蓝器件。
目前,在采用高精度金属掩膜版技术进行蒸镀时,通常蒸镀掩模版组件固定在边框上,蒸镀掩模版组件主要包括高精度金属掩模版及辅助掩模版,辅助掩模版包括遮挡掩模版(Cover mask)及支撑掩模版(Howling mask)。FMM在蒸镀过程中会因为基板破坏等原因而损坏,目前FMM的修复可以很容易完成,若是遮挡掩模版或者支撑掩模版损伤很难修复,因为FMM是覆盖在遮挡掩模版及支撑掩模版之上的,以遮挡掩模版为例,若是遮挡掩模版损伤,就需要从将遮挡掩模版从FMM和支撑掩模版下边穿过,然后拉伸焊接于边框上,这个过程需要人为多次进入设备,难点在于如何将遮挡掩模版准确放入到边框的遮挡掩模版焊接沟槽中,以及拉伸后如何调整边框的位置来调整边框与遮挡掩模版的相对位置。由于辅助掩模版需要穿过FMM下方,很难保证辅助掩模版不弯曲,其两端的位置能够与边框上的焊接沟槽正对,且由于遮挡掩模版与边框在整个修复过程中都是紧贴的,所以调节边框的位置后遮挡掩模版会随着边框一起动,若是操作稍有差错就会损伤FMM。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种张网装置,其能够在安装或修复辅助掩模版时,将辅助掩模版与边框进行初步对位,以使得待安装辅助掩模版能够准确地放到边框上,便于辅助掩模版的安装定位,便于操作。
本实用新型所提供的技术方案如下:
一种张网装置,用于安装蒸镀设备中的辅助掩模版,所述蒸镀设备包括:中部具有开口区域的边框;具有掩模图案的蒸镀掩模版,设置在所述边框的开口区域;及,用于辅助所述蒸镀掩模版的所述辅助掩模版,所述辅助掩模版设置在所述边框的开口区域,并位于所述蒸镀掩模版与所述边框之间;所述张网装置包括:
用于承载所述边框的承载台;
及,设置在所述承载台外侧,用于在安装辅助掩模版时,对待安装辅助掩模版与所述边框进行对位的对位机构。
进一步的,所述对位机构包括:
用于夹持待安装辅助掩模版的夹持部件;
及,用于对待安装辅助掩模版进行定位的定位部件。
进一步的,所述张网装置还包括:用于控制所述定位部件及所述夹持部件移动的移动机构。
进一步的,所述定位部件包括分别设置在所述承载台的相对两侧的两个定位器;
所述夹持部件包括分别设置在所述承载台的相对两侧的两个夹持器,且所述夹持器和与该夹持器处于所述承载台同一侧的定位器的位置正对,且所述夹持器设置在与该夹持器处于所述承载台同一侧的定位器的外侧;
其中所述移动机构能够控制所述定位器和所述夹持器同步移动。
进一步的,所述边框上设有用于连接所述辅助掩模版的多个连接槽;其中所述移动机构能够控制所述定位器和所述夹持器移动至与所述连接槽的中心所正对的位置上。
进一步的,每一所述定位器上设有用于放置待安装辅助掩模版的放置槽,且所述放置槽为两端开口的贯通槽体,以使待安装辅助掩模版的两端分别穿过两个定位器的放置槽,被所述夹持器夹持。
进一步的,所述定位器的放置槽包括相对设置的两个侧壁,其中所述两个侧壁能够相对移动,以改变所述放置槽的宽度。
进一步的,所述定位器上设置有用于控制所述放置槽内的待安装辅助掩模版升降的升降结构。
进一步的,所述升降结构包括:设置在所述放置槽的槽底的吹气嘴,所述吹气嘴用以向所述放置槽内的待安装辅助掩模版吹气,以使待安装辅助掩模版上升。
本实用新型的有益效果如下:
本实用新型所提供的张网装置,通过设置对位机构,能够在安装或修复辅助掩模版时,将辅助掩模版与边框进行初步对位,以将待安装的辅助掩模版准确地放到边框上,便于辅助掩模版的安装定位,便于操作。
附图说明
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择