[实用新型]干燥及预钝化装置

权利要求书

1.一种干燥及预钝化装置，包括气室及分别与所述气室连接的总控制单元、抽真空单元及钝化气体控制单元，其中：

气室，用于盛放需要干燥及预钝化的零部件；

抽真空单元，用于吸入/排出空气，使所述气室处于真空/常压状态；

钝化气体控制单元，用于在所述气室处于真空状态时，向所述气室内注入钝化气体以对零部件进行预钝化，还用于在预钝化完成后，所述气室处于常压状态时将所述钝化气体排出；

总控制单元，在所述气室内注入钝化气体对零部件进行预钝化时，用于根据所述气室内的温度信息，向所述气室提供热量。

2.如权利要求1所述的干燥及预钝化装置，其中，所述气室中盛放的需要干燥及预钝化的零部件为放电腔中的零部件。

3.如权利要求2所述的干燥及预钝化装置，其中，所述钝化气体为惰性气体和卤素气体的混合气体。

4.如权利要求1所述的干燥及预钝化装置，其中，所述总控制单元包括温度传感器、信号处理及控制器件及加热元件，其中：

温度传感器，用于检测所述气室内的温度信息，并将检测得到的所述温度信息传输至信号处理及控制器件；

信号处理及控制器件，与所述加热元件连接，用于根据所述温度信息，向所述加热元件发送控制信号以向所述气室提供热量，以使所述气室内的温度恒定。

5.如权利要求1所述的干燥及预钝化装置，其中，所述抽真空单元包括：

抽真空器件，用于吸入/排出空气，改变所述气室处于真空/常压状态；

真空检测器件，用于实时监测所述气室的真空度；

所述抽真空器件包括真空泵或真空阀。

6.如权利要求1所述的干燥及预钝化装置，其中，所述钝化气体控制单元包括：

进气阀，用于在所述气室处于真空状态时，向所述气室内注入钝化气体；

排气阀，用于在预钝化完成后，所述气室处于常压状态时将所述钝化气体排出。

7.如权利要求1所述的干燥及预钝化装置，其中，所述总控制单元包括气体循环器件，用于匀化所述气室中的气体和温度；在所述气室内注入钝化气体对零部件进行预钝化时，所述气室内的温度范围为100℃～150℃。

8.如权利要求1所述的干燥及预钝化装置，其中，所述干燥及预钝化装置还包括位于气室中的样品台、样品台支架及嵌于所述气室外壁的移动导轨，所述样品台通过样品台支架置于所述移动导轨上。

9.如权利要求8所述的干燥及预钝化装置，其中，所述样品台为篮网结构，所述篮网结构包括网格密度不相等的若干单元。

10.如权利要求1所述的干燥及预钝化装置，其中，所述气室的内侧壁包括保温及防腐层，用于防止热量的散失及所述钝化气体对所述气室侧壁的腐蚀；所述气室的侧壁安装有一密封门，通过所述密封门放置/取出零部件。