[实用新型]一种扩散石英源瓶

权利要求书

1.一种扩散石英源瓶，其特征在于，包括储存磷源的源瓶本体(1)，所述源瓶本体(1)的顶部连接有进气管(2)和出气管(3)，所述进气管(2)伸入磷源液面的下方，所述出气管(3)置于所述磷源液面上方；

所述源瓶本体(1)内设置有液位检测机构(4)；

所述源瓶本体(1)内设有伸入所述磷源液面下方的气囊(5)，所述气囊(5)连接有供气机构；及

控制器，所述控制器分别与所述供气机构和所述液位检测机构(4)电连接。

2.根据权利要求1所述的扩散石英源瓶，其特征在于，所述源瓶本体(1)上设有开口(11)，所述气囊(5)通过气管穿过所述开口(11)与所述供气机构连接。

3.根据权利要求2所述的扩散石英源瓶，其特征在于，所述开口(11)位于所述磷源液面的上方。

4.根据权利要求2所述的扩散石英源瓶，其特征在于，所述气囊(5)的数量为一个，所述开口(11)的数量为一个。

5.根据权利要求4所述的扩散石英源瓶，其特征在于，所述气囊(5)为贴合于所述源瓶本体(1)的内壁设置的环形结构。

6.根据权利要求2所述的扩散石英源瓶，其特征在于，所述气囊(5)的数量为多个，所述开口(11)的数量为多个，所述开口(11)与所述气囊(5)一一对应设置。

7.根据权利要求6所述的扩散石英源瓶，其特征在于，多个所述气囊(5)周向均布地贴合于所述源瓶本体(1)的内壁上。

8.根据权利要求1-7任一所述的扩散石英源瓶，其特征在于，所述进气管(2)和所述液位检测机构(4)均沿竖直方向伸入所述磷源液面的下方。

9.根据权利要求8所述的扩散石英源瓶，其特征在于，所述磷源液面的高度不小于3cm，所述进气管(2)伸入所述磷源液面的下方的距离不小于2cm。

10.根据权利要求1-7任一项所述的扩散石英源瓶，其特征在于，所述液位检测机构(4)为液位传感器。