[实用新型]单晶硅生长炉籽晶绳固定装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种单晶硅生长炉籽改进装置，具体涉及单晶硅生长炉籽晶绳固定装置。

背景技术

单晶炉是通过籽晶头控制籽晶绳旋转并提拉晶棒的。籽晶绳在正常工作时旋转和提拉的稳定性直接决定了设备的硅棒成品率,决定了设备的生产效率。籽晶绳是软钢丝制成，卷绕在籽晶头的导轮中，通过籽晶头及导轮同时旋转实现籽晶绳旋转并提升。在实际安装中籽晶绳卷线轮中心、导正轮中心、籽晶绳定位中心与坩埚中心会存在一定的误差，导致籽晶绳在正常工作时会有一定幅度的摆动，影响拉出晶棒质量。

籽晶绳从单晶炉顶部的籽晶头开始，一直穿过上炉筒，隔离阀，炉盖，炉筒连接籽晶夹头，用于拉晶。由于提拉晶棒的籽晶绳长度较长，在正常使用过程中还处于不停旋转当中，籽晶绳结构存在一定的离心力，籽晶绳就容易摆动，造成拉出晶体质量不好后果。

发明内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型提供单晶硅生长炉籽晶绳固定装置，在隔离阀增加法兰，将此装置安装在法兰上。此装置可通过手摇滚轮控制籽晶绳护轮伸缩。在伸长状态下，籽晶绳护轮能保护籽晶绳减少摆动，在缩回状态籽晶绳护轮在隔离阀法兰内，不影响正常拉晶。

本实用新型的技术方案是：单晶硅生长炉籽晶绳固定装置，包括固定于隔离阀上的法兰和与法兰固定连接的法兰固定板；

包括外侧固定板，所述外侧固定板与法兰固定板之间固定连接有导向杆；

包括与导向杆平行设置的丝杠，所述丝杠连接丝杠螺母，一端可旋转式固定于法兰固定板上，一端穿过外侧固定板连接手轮；

包括驱动板，所述驱动板一侧滑动连接导向杆，一侧固定连接丝杠螺母；

包括与导向杆平行设置的护轮连接杆，所述护轮连接杆一端固定于驱动板中心，一端穿过法兰固定板中心连接能够自转的护轮；所述护轮周向开有能够护住籽晶绳的V型槽。

进一步的，所述护轮连接杆外部套有波纹管，所述驱动板外端密封有卡箍。护轮连接杆在驱动板驱动下一起伸缩，波纹管能够保证在伸缩时仍然有良好的密封。通过卡箍和波纹管将护轮连接杆以及护轮密封在炉体内。

进一步的，所述卡箍外侧设置有固定于外侧固定板上的限位杆，当护轮收回到隔离阀法兰内，卡箍与限位杆接触定位。防止手轮回收过度，导致护轮撞击法兰固定板损坏。

进一步的，所述外侧固定板与法兰固定板之间固定连接有加强杆。保证装置的稳固。

进一步的，所述加强杆有2根，平行对称设置于护轮连接杆两侧。使得装置更加稳固。

本实用新型的有益效果是：正常使用时，旋转手轮，从视窗观察，让丝杠旋转，带动丝杠螺母沿丝杠方向伸缩运动，驱动板随之一起伸缩运动，在导向杆作用下运动平稳，直至让护轮自带的V型槽护住籽晶绳。籽晶绳在正常工作时旋转上升，护轮内部安装滚动轴承随之自转滚动，保证在籽晶绳提拉过程中更加平稳，不摆动。当籽晶绳拉的晶棒快到达护轮处时，旋转手轮，将护轮收回到隔离阀法兰内，不影响正常使用。

附图说明

图1为籽晶绳固定装置回收状态示意图；

图2为籽晶绳固定装置工作状态示意图；

图3为籽晶绳固定装置结构示意图；

图4为籽晶绳固定装置立体结构示意图。

图中：1为护轮，2为法兰固定板，3为导向杆，4为驱动板，5为外侧固定板，6为护轮连接杆，7为波纹管，8为丝杠，9为丝杠螺母，10为卡箍，11为手轮，12为加强杆，13为籽晶绳，14为隔离阀，15为单晶硅生长炉籽晶绳固定装置，16为限位杆。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。

如图1-4所示，单晶硅生长炉籽晶绳固定装置15，包括固定于隔离阀14上的法兰和与法兰固定连接的法兰固定板2；包括外侧固定板5，所述外侧固定板5与法兰固定板2之间固定连接有导向杆3；包括与导向杆3平行设置的丝杠8，所述丝杠8连接丝杠螺母9，一端可旋转式固定于法兰固定板2上，一端穿过外侧固定板5连接手轮11；包括驱动板4，所述驱动板4一侧滑动连接导向杆3，一侧固定连接丝杠螺母9；包括与导向杆3平行设置的护轮连接杆6，所述护轮连接杆6一端固定于驱动板4中心，一端穿过法兰固定板2中心连接能够自转的护轮1；所述护轮1周向开有能够护住籽晶绳13的V型槽。