[实用新型]真空操纵系统

权利要求书

1.一种真空操纵系统，用于操纵一被驱动物在真空条件下的移动，其特征在于，所述真空操纵系统包括：

真空密封装置，所述真空密封装置设有真空腔和若干驱动孔，所述驱动孔与所述真空腔连通；

驱动平台，所述驱动平台位于所述真空腔内；

驱动部件，所述驱动部件穿设于所述驱动孔，且所述驱动部件的一端位于所述真空腔内且与所述驱动平台连接，所述驱动部件的另一端位于真空密封装置外；

波纹管，所述波纹管用于密封所述驱动部件和所述驱动孔之间的间隙；

关节部件，所述关节部件位于所述真空腔内，所述关节部件的一端与所述被驱动物连接，所述关节部件的另一端与所述驱动平台连接；

其中，所述驱动部件驱动所述驱动平台、所述驱动平台驱动所述关节部件，所述关节部件带动所述被驱动物在真空条件下移动。

2.如权利要求1所述的真空操纵系统，其特征在于，所述真空密封装置包括：

主体框架，所述主体框架设有第一真空腔和开口，所述开口与所述第一真空腔连通；

操纵器躯干，所述操纵器躯干对应于所述开口设置，且所述操纵器躯干密封连接于所述主体框架，所述操纵器躯干设有第二真空腔；

其中，所述第二真空腔与所述第一真空腔连通并形成所述真空腔，所述驱动孔设于所述操纵器躯干。

3.如权利要求2所述的真空操纵系统，其特征在于，所述操纵器躯干可拆卸地连接于所述主体框架。

4.如权利要求1所述的真空操纵系统，其特征在于，所述波纹管对应于所述驱动部件设置，且所述波纹管的一端密封连接于所述真空密封装置的外壁，所述波纹管的另一端与所述驱动部件连接，所述驱动部件穿设于所述波纹管。

5.如权利要求1所述的真空操纵系统，其特征在于，所述驱动部件包括第一驱动部件和第二驱动部件，所述第一驱动部件和第二驱动部件均与所述驱动平台连接，且所述第一驱动部件的移动方向和第二驱动部件的移动方向设有夹角。

6.如权利要求5所述的真空操纵系统，其特征在于，所述夹角为90度。

7.如权利要求5所述的真空操纵系统，其特征在于，所述第一驱动部件包括一驱动臂，所述驱动臂为L形；

所述驱动臂包括驱动杆和驱动连接杆，所述驱动杆的一端与所述波纹管连接，所述驱动杆的中心轴线与所述第一驱动部件的移动方向平行，所述驱动连接杆的中心轴线垂直于所述驱动杆的中心轴线，且所述驱动连接杆的一端套设于所述驱动杆的另一端；

所述驱动杆套设有第一万向节，所述第一万向节用于保持所述驱动杆的移动方向。

8.如权利要求5所述的真空操纵系统，其特征在于，所述驱动平台包括：

第一躯干平台，所述第一躯干平台的一端设有第一滑块，所述第一滑块滑设于第一导轨，所述第一躯干平台的另一端设有第二导轨，所述第二驱动部件与所述第一躯干平台连接；

中间躯干平台，所述中间躯干平台与所述第一躯干平台相对应的一端设有第二滑块，所述第二滑块滑设于所述第二导轨，所述中间躯干平台还设有第三滑块；

第二躯干平台，所述第二躯干平台与所述中间躯干平台联动，所述第二躯干平台设有第三导轨，所述第三滑块滑设于所述第三导轨，所述第一驱动部件与所述第二躯干平台连接；

其中，所述第一滑块与所述第三滑块的移动方向平行，所述第二滑块的移动方向与所述第三滑块的移动方向形成有所述夹角。

9.如权利要求8所述的真空操纵系统，其特征在于，所述第二躯干平台穿设于所述中间躯干平台，且所述第二躯干平台抵靠于所述中间躯干平台。

10.如权利要求8中所述的真空操纵系统，其特征在于，所述第二躯干平台设有轴套和第二万向节，所述第一驱动部件的一端穿设于所述轴套，所述第二万向节套设于所述轴套外。

11.如权利要求1所述的真空操纵系统，其特征在于，所述驱动平台包括第一驱动平台和第二驱动平台，所述第一驱动平台和第二驱动平台相对设置；

所述关节部件包括主关节部件和从关节部件，所述主关节部件的一端与所述被驱动物的一端连接，所述主关节部件的另一端与所述第一驱动平台连接，所述从关节部件的一端与所述被驱动物的另一端连接，所述从关节部件的另一端与所述第二驱动平台连接。