[实用新型]一种基于模组化高精度显微镜系统的测试装置有效
| 申请号： | 201720590474.5 | 申请日： | 2017-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN206804276U | 公开（公告）日： | 2017-12-26 |
| 发明（设计）人： | 余美群;周威 | 申请（专利权）人： | 茂莱(南京)仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人： | 李倩 |
| 地址： | 211102 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 模组化 高精度 显微镜 系统 测试 装置 | ||
1.一种基于模组化高精度显微镜系统的测试装置，其特征在于：包括测试平台以及位于测试平台上的相机模组、筒镜模组、物镜模组、目标板、光源模组以及机械平移模组，所述机械平移模组与测试平台相互契合连接，机械平移模组相对测试平台沿纵向上下运动，目标板通过物镜模组和筒镜模组成像到相机模组上，目标板固定在机械平移模组的连接件上，目标板通过机械平移模组相对测试平台沿纵向上下运动；还包括数据处理单元，数据处理单元包括中央处理单元以及分别与中央处理单元连接的采集模块和驱动模块；其中，采集模块连接相机模组，相机模组将采集到的图片通过采集模块传输给中央处理单元，驱动模块连接机械平移模组。
2.根据权利要求1所述的基于模组化高精度显微镜系统的测试装置，其特征在于：所述目标板通过光刻的方式在目标板上刻画亚微米线宽的目标，包括横向，纵向和45度多个方向的条纹和对比度方格。
3.根据权利要求1所述的基于模组化高精度显微镜系统的测试装置，其特征在于：所述目标板包括MTF/CTF测试目标板、畸变测试目标板和空白测试目标板。
4.根据权利要求1所述的基于模组化高精度显微镜系统的测试装置，其特征在于：所述机械平移模组包括Z轴移动导轨，Z轴移动导轨的移动精度小于物镜的1倍焦深的四分之一。
5.根据权利要求1所述的基于模组化高精度显微镜系统的测试装置，其特征在于：所述光源模组包括目标板的背光照明、目标板的侧向照明和通过物镜模组对目标板的同轴照明。
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