[实用新型]一种硅片中转装置

权利要求书

1.一种硅片中转装置，其特征在于，包括：

中转部(1)，所述中转部(1)包括用于承载硅片的多个中转板(11)，多个所述中转板(11)平行等间距设置；

多个伸缩组件(2)，每个所述伸缩组件(2)的两端分别连接相邻设置的两个所述中转板；及

调节组件，所述调节组件通过拉伸或压缩所述伸缩组件(2)来调整相邻的两个所述中转板(11)之间的间距。

2.如权利要求1所述的硅片中转装置，其特征在于，所述调节组件包括千分尺(3)，所述中转部(1)的底部位于所述千分尺(3)的框架(31)内，且位于两端的两个所述中转板(11)中的一个与所述千分尺(3)的螺杆(34)连接、另一个与所述框架(31)远离所述螺杆(34)的端部的侧壁连接。

3.如权利要求2所述的硅片中转装置，其特征在于，所述伸缩组件(2)包括连接部(21)以及第一连接杆(22)，所述第一连接杆(22)的中部与所述连接部(21)转动连接，所述第一连接杆(22)的两端分别与相邻设置的两个所述中转板(11)滑动连接，且多个所述第一连接杆(22)首尾连接；所述调节组件还包括光轴(33)，所述光轴(33)的两端与所述框架(31)固定，所述连接部(21)和所述中转板(11)均套设于所述光轴(33)并与所述光轴(33)滑动连接。

4.如权利要求3所述的硅片中转装置，其特征在于，所述伸缩组件(2)还包括与所述第一连接杆(22)交叉设置的第二连接杆(23)，所述第二连接杆(23)的中部与所述连接部(21)转动连接，所述第二连接杆(23)的两端分别与相邻设置的两个所述中转板(11)滑动连接，且多个所述第二连接杆(23)首尾连接。

5.如权利要求4所述的硅片中转装置，其特征在于，所述伸缩组件(2)还包括弹簧(24)，所述弹簧(24)的两端分别与所述第一连接杆(22)和所述第二连接杆(23)连接。

6.如权利要求4所述的硅片中转装置，其特征在于，所述中转板(11)的侧部在所述第一连接杆(22)的端部和所述第二连接杆(23)的端部的相应位置处均竖向开设有活动孔(111)，相邻的两个所述第一连接杆(22)的端部铰接且能够沿对应的所述活动孔(111)上下滑动，相邻的两个所述第二连接杆(23)的端部铰接且能够沿对应的所述活动孔(111)上下滑动。

7.如权利要求6所述的硅片中转装置，其特征在于，所述第一连接杆(22)的两端中任一个设置有第一连接轴(221)、另一个设置有第一连接孔(222)，相邻的两个所述第一连接杆(22)的所述第一连接轴(221)和所述第一连接孔(222)配合以实现铰接；所述第二连接杆(23)的两端中任一个设置有第二连接轴(231)、另一个设置有第二连接孔(232)，相邻的两个所述第二连接杆(23)的所述第二连接轴(231)和所述第二连接孔(232)配合以实现铰接；所述第一连接轴(221)和所述第二连接轴(231)均能够沿对应的所述活动孔(111)滑动。

8.如权利要求1-7任一项所述的硅片中转装置，其特征在于，相邻的两个所述中转板(11)之间设置有两个所述伸缩组件(2)，两个所述伸缩组件(2)分别设置于所述中转板(11)的两端。

9.如权利要求2-7任一项所述的硅片中转装置，其特征在于，所述调节组件还包括移动板(32)，所述移动板(32)通过轴承(321)与所述螺杆(34)的端部连接，且所述移动板(32)以所述螺杆(34)的中心轴线对称，所述中转部(1)的端部的所述中转板(11)与所述移动板(32)固定连接。

10.如权利要求2-7任一项所述的硅片中转装置，其特征在于，所述中转板(11)伸出所述框架(31)外的长度为硅片边长的2/3-1倍。