[实用新型]湿制程除静电装置及湿制程设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及生产用设备技术领域，尤其涉及一种湿制程除静电装置及湿制程设备。

背景技术

有源矩阵有机发光显示屏(AMOLED)等电子显示装置主要是基于玻璃基板(glass)制造的，在制造显示面板的过程中，有多道制程会使用到湿制程设备，湿制程设备主要是让基板承载于一输送带上，并经由传动机构(roller)的传动，让基板经过喷洒药液或水液的湿区间，以让喷洒的液体均匀冲刷该基板，而依据喷洒的液体的不同，即可以对基板进行不同的湿制程处理作业。湿制程设备进行相应的湿制程时，会无法避免地产生和累积静电电荷，这些静电电荷一方面可能会在基板内转移而产生静电电流，进而损坏基板上的元器件；另一方面会产生电场而吸引带电颗粒或者极化中性颗粒到基板表面，进而造成基板上的致命缺陷。因此，需要对湿制程设备进行除静电处理。

目前业界针对湿制程设备的除静电方式大多是在湿制程设备入口和出口的干燥区间加装离子棒(Ionizer bar)，以此来消除进出湿制程设备的玻璃基板上的静电。然而，这种除静电方式下，在湿区间(即水或药液等液体喷洒段，可简称水段或药液段)，由于传动机构即输送带的导电性不佳以及气刀(用于除去玻璃基板上废液以及废液回收的机构)内气体的静电作用等原因而产生的静电始终无法得到有效地消除，依旧会对产品造成影响。此外，还有部分湿制程设备采用HPMJ(SUPER HIGH PRESSURE MICRO JET，超高压微射流清洗)内混合的CO₂(二氧化碳)气体以产生碳酸根离子和氢离子来进行静电消除，这种除静电方式，对于玻璃基板表面上残留的粒径1μm～5μm的各种微粒(Particles)的清除效果很好，而对于静电电荷的清除效果依旧欠佳。

因此需要一种新的用于湿制程设备的除静电方案，以提高除静电效果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种湿制程除静电装置及湿制程设备，能够提高除静电效果。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种湿制程除静电装置，包括：用于提供带电离子气团的离子除静电机构以及用于为所述离子除静电机构提供气体的气体送入机构，所述离子除静电机构设置于湿制程设备的缓冲区间内，所述气体送入机构连接所述离子除静电机构。

可选的，所述离子除静电机构为离子枪或者离子棒。

可选的，所述湿制程除静电装置还包括一第一挡门板和一第二挡门板，所述第一挡门板设置于所述缓冲区间的入口处并用于封闭或者打开所述缓冲区间的入口，所述第二挡门板设置于所述缓冲区间的出口处并用于封闭或者打开所述缓冲区间的出口。

可选的，所述湿制程除静电装置还包括一排气机构，所述排气机构设置于所述缓冲区间内并用于排除所述缓冲区内的气体。

可选的，所述湿制程除静电装置还包括一控制机构，所述控制机构分别与所述气体送入机构、离子除静电机构、排气机构、第一挡门板以及第二挡门板信号连接，并用于控制所述气体送入机构、离子除静电机构、排气机构、第一挡门板以及第二挡门板的开闭时机和频率。

可选的，所述气体送入机构、离子除静电机构、排气机构、第一挡门板以及第二挡门板中的至少一个固定安装或者可拆卸式安装在所述缓冲区间内。

可选的，所述离子除静电机构的表面具有一防腐材料层。

本实用新型还提供一种湿制程设备，包括上述之一的湿制程除静电装置。

可选的，所述湿制程设备包括三个以上的湿区间，任意两个相邻湿区间之间均设有所述缓冲区间，每个缓冲区间内均设置有一个所述湿制程除静电装置。

可选的，所述湿制程设备包括三个以上的湿区间，任意两个相邻湿区间之间均设有所述缓冲区间，整个所述湿制程设备中仅设有一个所述湿制程除静电装置，所述湿制程除静电装置还包括一移动机构，所述湿制程除静电装置的气体送入机构、离子除静电机构、排气机构、第一挡门板以及第二挡门板均安装在所述移动机构上，所述移动机构能够在不同的缓冲区间之间移动。

与现有技术相比，本实用新型的技术方案具有以下有益效果：

1、通过在湿制程设备的两个相邻湿区间之间的缓冲区间内设置离子除静电机构等组件，能够使得当进行湿制程处理的基板从一个湿区间进入相邻的另一个湿区间时，直接通过离子除静电机构除去静电，即本实用新型的技术方案可直接实现在湿制程设备的水段或药液段消除静电，避免了现有技术中在干燥区间无法有效地消除水段或药液段产生的静电的问题，同时避免了因水段或药液段产生的静电造成的设备故障。