[实用新型]靶材搬运车

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种搬运装置，具体涉及一种靶材搬运车。

背景技术

靶材是磁控溅射镀膜技术中的重要组成部分，在磁控溅射镀膜技术中，靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料，更换不同的靶材可以得到不同的膜系。

在靶材生产过程中，需要将靶材安装于喷涂平台和车床上进行加工，现有技术中，通常采用人工安装和拆卸靶材，但是由于靶材重达50KG，因此人工拆装费时费力，而且至少需要两个工作人员才能够完成，严重浪费人力资源，此外，人工拆装如果配合不好会磕碰靶材表面造成靶材报废，造成不必要的浪费。

基于上述问题，亟需研发一种用于安装和拆卸靶材的专用设备。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种靶材搬运车，以解决现有技术中的技术问题，它用于安装、拆卸和转运靶材，具有结构简单、便于操作和工作效率高的优点。

本实用新型提供了一种靶材搬运车，包括升降车，所述升降车的货叉上设有靶材固定装置，所述靶材固定装置包括靶材托架机构和锁紧机构，所述靶材托架机构上至少设有1个所述锁紧机构，所述锁紧机构用于将靶材固定在所述靶材托架机构上。

前述的靶材搬运车中，优选地，所述靶材托架机构包括安装支架、支撑板和托架，所述安装支架与所述托架分别固定设置在所述支撑板的两侧，所述支撑板通过所述安装支架固定安装在所述货叉上，所述托架至少为两个，所述托架上具有开口朝上的圆弧形定位槽。

前述的靶材搬运车中，优选地，所述安装支架包括第一板体和第二板体，所述第一板体水平设置，通过螺栓与所述货叉固定连接，所述第二板体垂直固定在所述第一板体上，所述第二板体与所述第一板体之间设有加强筋。

前述的靶材搬运车中，优选地，还包括水平位置调节机构，所述水平位置调节机构包括滑块和滑轨，所述滑轨固定安装在所述支撑板上靠近所述第二板体的板面上，所述滑块为两个，对称安装在所述第二板体上，所述滑轨与两个所述滑块滑动连接。

前述的靶材搬运车中，优选地，所述滑轨的两端设有橡胶保护罩，所述橡胶保护罩套接在所述滑轨上，且其中一端与所述滑块固定连接，另一端与所述滑轨的端部固定连接。

前述的靶材搬运车中，优选地，还包括定位机构，所述定位机构包括定位板和定位销，所述第二板体的中间位置设有安装孔，所述定位销插接在所述安装孔内，所述定位板固定在所述支撑板的中部，所述定位板上设有与所述定位销相配合的定位孔。

与现有技术相比，本实用新型在升降车的货叉上设置靶材固定装置，使升降车具备转运、安装和拆卸靶材的功能。靶材固定装置上的靶材托架机构用于代替人手来托起靶材，而锁紧机构则起到固定靶材的作用，防止在转运、安装和拆卸过程中靶材从靶材托架机构上脱落，提高本实用新型的可靠性。本实用新型提供的设备完全可以取代人工操作，具有结构简单、便于操作和工作效率 高的优点。

本实用新型还具体公开了一种靶材托架机构的结构，其包括安装支架、支撑板和托架，支撑板通过安装支架固定安装在货叉上，托架上具有开口朝上的圆弧形定位槽。其中安装支架包括第一板体和第二板体，第二板体与第一板体之间设有加强筋。通过加强筋的设置可以有效提高安装支架的强度。通过安装支架来连接支撑板和货叉，具有便于安装和拆卸的优点，现有技术中靶材通常为圆柱形结构，在托架上设置圆弧形定位槽可以对靶材起到一定的定位作用。

通过设置水平位置调节机构，可以实现靶材在水平位置上的调节，便于安装和拆卸。

附图说明

图1是本实用新型整体结构的轴测图；

图2是本实用新型局部结构的轴测图；

图3是一种简易手动夹具的轴测图。

附图标记说明：1-升降车，2-货叉，3-靶材托架机构，4-锁紧机构，5-安装支架，6-支撑板，7-托架，8-圆弧形定位槽，9-滑块，10-橡胶保护罩，11-定位板，12-定位销，13-第一板体,14-第二板体,15-加强筋，16-垫板，17-夹紧臂，18-手柄，19-底座，20-压头，21-避让槽。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型， 而不能解释为对本实用新型的限制。