[实用新型]一种低压扩散炉炉口隔热结构有效

专利信息
申请号: 201720600957.9 申请日: 2017-05-26
公开(公告)号: CN207038544U 公开(公告)日: 2018-02-23
发明(设计)人: 李致文;张勇 申请(专利权)人: 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;F27D1/00;C30B31/10
代理公司: 深圳市康弘知识产权代理有限公司44247 代理人: 胡朝阳,尹彦
地址: 518000 广东省深圳市龙岗区横*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 低压 扩散 炉炉口 隔热 结构
【权利要求书】:

1.一种低压扩散炉炉口隔热结构,包括石英管和密封圈,所述密封圈套设于所述石英管的管口的端部外壁上,其特征在于,还包括管状的隔热层,所述管状的隔热层设置于所述石英管的管口的端部内且所述管状的隔热层的中轴线与所述石英管的中轴线重合,所述管状的隔热层的外端开口延伸出所述石英管的管口,所述管状的隔热层的内端开口延伸至超过所述密封圈对应在所述石英管的管口的端部内壁上的位置。

2.根据权利要求1所述的低压扩散炉炉口隔热结构,其特征在于,所述管状的隔热层与所述石英管之间具有间距。

3.根据权利要求2所述的低压扩散炉炉口隔热结构,其特征在于,所述间距为2mm至4mm。

4.根据权利要求1或3所述的低压扩散炉炉口隔热结构,其特征在于,所述管状的隔热层采用不锈钢制成,且由不锈钢制成的管状的隔热层的内表面为镜面。

5.根据权利要求1或3所述的低压扩散炉炉口隔热结构,其特征在于,所述管状的隔热层的内端开口延伸至超过所述密封圈对应在所述石英管的管口的端部内壁上的位置30mm。

6.根据权利要求1所述的低压扩散炉炉口隔热结构,其特征在于,还包括固定法兰、第一过渡法兰和第二过度法兰,所述固定法兰、所述第一过渡法兰和所述第二过度法兰依次由里至外套设于所述石英管的管口的端部外壁上,所述密封圈夹在所述第一过渡法兰和所述第二过度法兰之间。

7.根据权利要求6所述的低压扩散炉炉口隔热结构,其特征在于,所述管状的隔热层的外端开口固定在所述第二过度法兰上。

8.根据权利要求6所述的低压扩散炉炉口隔热结构,其特征在于,所述第一过渡法兰、所述第二过度法兰内均设置有冷却水道,以及所述第一过渡法兰、所述第二过度法兰上均设置有与所述冷却水道连通的冷却水进口和冷却水出口。

9.根据权利要求1所述的低压扩散炉炉口隔热结构,其特征在于,所述密封圈为氟橡胶密封圈。

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