[实用新型]用于超大口径凸扁球面检测的光学系统

权利要求书

1.一种用于超大口径凸扁球面检测的光学系统，由平面干涉仪(3)和折反射式球面弯月透镜(1)组成，其特征在于：

所述的折反射式球面弯月透镜(1)玻璃材料为K9、光焦度为正值且其凹面(S_1-2)镀一层半透半反膜；

所述的折反射式球面弯月透镜(1)放置于平面干涉仪(3)和待检扁球面镜(2)之间，折反射式球面弯月透镜(1)的凸面(S_1-1)正对平面干涉仪(3)、凹面正对待检扁球面镜(2)；折反射式球面弯月透镜(1)凹面(S_1-2)的球心与光线被凸扁球面镜(2)第一次反射后形成的发散球面波的球心重合；

平面干涉仪(3)发出的一束平行光束经过球面弯月透镜(1)折射后，直接入射到待检凸扁球面镜(2)上，被待检凸扁球面镜(2)反射到球面弯月透镜(1)的凹面(S_1-2)后再次原路反射回待检凸扁球面镜(2)，被待检凸扁球面镜(2)二次反射后光束经球面弯月透镜(1)折射后进入平面干涉仪(3)。