[实用新型]真空现场校准装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空测量技术领域，尤其涉及一种可用于在现场对真空装置或真空计进行校准和测试的真空现场校准装置。

背景技术

真空计是用来测量绝压状态下大气压力的仪器，广泛运用于军工、电子、医疗食品、电力、冶金、化工等各种领域。现有真空计校准通常以静态膨胀法和动态对比法进行测量校准工作。由于真空测量系统是包含真空计、真空泵、各种连接管道以及真空挡板阀门在内的一套完整的测试系统，体积庞大，且在现场安装位置固定，实现对真空测量系统的实验室校准比较困难，现代化的集成生产逐渐要求对真空测量系统进行现场校准。

在现有技术中，便携式真空计校准装置所采用的技术方案，如专利号为CN200955987Y “便携式真空计校准装置”、专利号为CN102564696A “便携式真空规校准系统及方法”等，上述现有技术均存在以下的缺点：

1、结构仍较为复杂，接口较多，大型部件不可拆卸，不利于运输；

2、工作介质为高纯氮，现场使用需配备气源。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服先有技术中结构复杂，接口较多，大型部件不可拆卸，不利于运输，现场使用需配备专用气源的缺点。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种真空现场校准装置，包括球形校准室、高真空主抽阀、预抽阀、前级阀、分子泵、前级机械泵和微调阀, 球形校准室设置有标准真空规接口、被检真空规接口、微调阀和抽真空排气出口，抽真空排气出口通过管路分别与高真空主抽阀和预抽阀相连，真空主抽阀连接分子泵，预抽阀连接前级机械泵，分子泵和前级机械泵之间通过前级阀连通。

球形校准室采用分体结构，通过CF63刀口法兰螺栓连接。

微调阀直接与大气连通。

高真空主抽阀采用的是CF35超高真空角阀。

球形校准室的赤道位置设置有标准真空规接口、被检真空规接口和微调阀，球形校准室的下端设置有抽真空排气出口，抽真空排气出口通过管路与高真空主抽阀和预抽阀相连的一端连接，高真空主抽阀的另一端连接分子泵，预抽阀的另一端分别连接前级阀的一端和前级机械泵，前级阀的另一端和分子泵相连。

本实用新型工作流程简述如下：

在大气到低真空范围内，开启前级机械泵，打开预抽阀，达到测量下限需要的真空值后，关闭预抽阀，打开微调阀使少量空气进入球形校准室，然后关闭微调阀，对比标准真空规与被检真空规的数值，调节进气量以静态比较法从低到高完成检测。

在高真空范围内，开启前级机械泵，打开预抽阀，待球形校准室内真空值接近低真空下限，开启分子泵，打开高真空主抽阀和前级阀，若球形校准室内真空值达到测量下限需要的真空值后，轻旋微调阀，使少量空气进入球形校准室，待系统进气速率与抽气速率到达动态平衡后，对比标准真空规与被检真空规的数值，调节微调阀提高进气速率，通过动态平衡法从低到高完成检测。

本实用新型的有益效果是提供一种体积小、结构紧凑、校准室可拆卸，便于运输携带；测量范围广，符合大气到低真空范围静态比较法和高真空动态比较法真空标准装置要求；具有较高的校准稳定性和准确度,可满足现场真空装置和真空计检测与校准的需求。

附图说明

图1为本实用新型真空现场校准装置的结构示意图；

图2为本实用新型真空现场校准装置的原理示意图；

其中：1.球形校准室；2.标准真空规接口 ； 3.被检真空规接口 ； 4.高真空主抽阀；5.预抽阀 ； 6.前级阀 ； 7.分子泵 ； 8.前级机械泵；9 微调阀。

具体实施方式

下面结合附图详细说明本实用新型的优选实施例。

实施例如图1和图2所示，本实施例提供一种真空现场校准装置，其结构包括体积为3L球形校准室1, 球形校准室1赤道位置设置标准真空规接口2 （KF25）、被检真空规接口3（KF25）和微调阀9，球形校准室1采用分体式设计可拆卸，下端设置CF63刀口法兰通过管路分别高真空主抽阀4和预抽阀5相连，高真空主抽阀4连接分子泵7连接，预抽阀5连接前级机械泵8，分子泵7和前级机械泵8之间通过前级阀6连通。其中真空主抽阀4采用的是CF35超高真空角阀，预抽阀5和前级阀6采用的是高真空插板阀，微调阀9可以精密调节（5×10-4～1×105）Pa全范围的压力值。

其工作流程简述如下：