[实用新型]一种真空互锁系统

权利要求书

1.一种真空互锁系统，其包括罩壳，所述罩壳内设置有可转动的齿轮箱，所述罩壳上开有抽真空口和放真空口，所述抽真空口通过第一管道连接抽真空阀，所述放真空口通过第二管道连接放真空阀，其特征在于，所述齿轮箱外周面安装有第一密封板，所述罩壳内壁安装有对应所述第一密封板的第二密封板，所述第一密封板与所述第二密封板之间通过液体密封，所述第二密封板上方和下方的所述罩壳上均开有所述抽真空口和所述放真空口。

2.根据权利要求1所述的一种真空互锁系统，其特征在于，所述第二密封板与所述罩壳内壁围成环形槽，所述环形槽内放置有液体，所述第一密封板端部伸入所述液体。

3.根据权利要求1所述的一种真空互锁系统，其特征在于，所述第二管道上安装有真空压力传感器，所述真空压力传感器电控连接所述抽真空阀和所述放真空阀。