[实用新型]一种差动式变极距垂直电极型电容传感器有效
申请号: | 201720634875.6 | 申请日: | 2017-06-02 |
公开(公告)号: | CN207180706U | 公开(公告)日: | 2018-04-03 |
发明(设计)人: | 潘海鸿;罗年景;陈琳 | 申请(专利权)人: | 广西安博特智能科技有限公司 |
主分类号: | G01D5/241 | 分类号: | G01D5/241 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 530007 广西壮族自治区南宁市西乡*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 差动 式变极距 垂直 电极 电容 传感器 | ||
1.一种差动式变极距垂直电极型电容传感器,其特征在于:它至少包括一对感应电容的静电极(1)与一个感应电容的动电极(2);所述一对感应电容的静电极(1)关于感应电容的动电极(2)垂直对称分布且分别与感应电容的动电极(2)保留有一定初始间隙,形成差动式结构垂直电极型电容器。
2.根据权利要求1所述的一种差动式变极距垂直电极型电容传感器,其特征在于:所述的感应电容的静电极(1)由多个金属片(3)并联组成;提高了垂直电极型电容传感器的灵敏度。
3.根据权利要求2所述的一种差动式变极距垂直电极型电容传感器,其特征在于:所述多个金属片(3)之间充满绝缘介质(4)且多个金属片(3)之间通过金属连接。
4.根据权利要求1所述的一种差动式变极距垂直电极型电容传感器,其特征在于:所述差动式结构垂直电极型电容器,当感应电容的动电极(2)沿感应电容的静电极(1)方向移动时,其中一个感应电容的静电极(1)与感应电容的动电极(2)极距改变Δh,则另一个感应电容的静电极(1)与感应电容的动电极(2)极距改变-Δh,对应的电容量分别为C1与C2,以电容量差值C1-C2作为输出信号,提高了垂直电极型电容传感器的灵敏度,同时提高了传感器的线性度。
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