[实用新型]用于液体环境的原子力显微镜

权利要求书

1.一种用于液体环境的原子力显微镜，其特征在于，包括：AFM主机、控制系统和计算机处理模块，所述AFM主机包括XY向扫描台、设置在所述XY向扫描台上的Z向扫描台、设置在所述Z向扫描台上的液体盒、盖设在所述液体盒上的盖板、设置在所述盖板中央的透明玻璃、设置在所述液体盒内的探针定位块、固定设置在所述探针定位块上的探针及设置在所述透明玻璃上方的激光器、半透镜、反光镜和四象限探测器。

2.根据权利要求1所述的用于液体环境的原子力显微镜，其特征在于，所述控制系统包括与所述四象限探测器连接的信号采集电路、与所述信号采集电路连接的信号处理电路、与所述信号处理电路连接的Z向反馈电路、与所述信号处理电路连接的数模转换器、与所述数模转换器连接的XY扫描控制电路及与所述数模转换器连接的通信模块。

3.根据权利要求2所述的用于液体环境的原子力显微镜，其特征在于，所述计算机处理模块与所述通信模块连接。

4.根据权利要求3所述的用于液体环境的原子力显微镜，其特征在于，所述Z向反馈电路还与所述Z向扫描台连接，用于控制所述Z向扫描台的上下移动。

5.根据权利要求3所述的用于液体环境的原子力显微镜，其特征在于，所述XY扫描控制电路还与所述XY向扫描台连接，用于控制所述XY向扫描台在平面内移动。

6.根据权利要求1所述的用于液体环境的原子力显微镜，其特征在于，所述半透镜和反光镜设置于所述透明玻璃的正上方，所述激光器、半透镜、反光镜和四象限探测器沿光路方向依次设置。

7.根据权利要求3所述的用于液体环境的原子力显微镜，其特征在于，所述盖板中央开口，所述开口上配合设置所述透明玻璃，所述盖板上处于所述透明玻璃的左右两侧对称设置有两调位组件。

8.根据权利要求7所述的用于液体环境的原子力显微镜，其特征在于，所述调位组件包括由所述盖板表面向下开设的竖槽、一端与所述竖槽连通另一端连通至所述盖板外侧端的横槽、可滑动穿设在所述横槽内的横板、插设在所述竖槽内且底端与所述横板一端连接的竖板、设置在所述竖板的靠近所述透明玻璃的一侧的挡板及设置在所述竖板和挡板之间的弹簧，所述横板的活动端上设置有软胶密封条。

9.根据权利要求8所述的用于液体环境的原子力显微镜，其特征在于，所述液体盒左右两侧内壁上开设有与所述横板的活动端配合的定位槽，所述盖板上还插设有导通所述液体盒内于外部空气的排液排气管。

10.根据权利要求3所述的用于液体环境的原子力显微镜，其特征在于，所述Z向扫描台上设置有用于承载待测样品的载物台，所述载物台和Z向扫描台之间设置有用于推动所述载物台上下移动的伸缩杆。