[实用新型]一种电机控制装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种电机控制装置。

背景技术

ULTIMA是半导体薄膜设备中做高密度等离子的设备，由于设备结构复杂，CHAMBER LID很重，由于CHAMBER LID目前是采用手动转动手轮实现升降，导致CHAMBER PM和维修时在打开和关闭CHAMBER LID上花费大量的时间和体力，造成劳动力的低价值输出和较低的工作效率。

发明内容

发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种电机控制装置，采用弱电驱动，设备体积小，操作简单。

技术方案：为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种电机控制装置，包括机体、控制器、驱动电机、减速器和法兰盘，所述所述控制器设置在机体内，所述机体内还设置有驱动电机，所述控制器与驱动电机电性连接，所述驱动电机的动力输出端设置有减速器，所述减速器的动力输出端设置有法兰盘，所述法兰盘与外接载体连接设置。

进一步的，所述减速器包括第一传动轴、第二传动轴和第三传动轴，所述第一传动轴与第三传动轴位于同一直线上，所述第二传动轴设置在减速器机体上，且第二传动轴与第一传动轴垂直设置；所述第一传动轴的一端与驱动电机的动力输出端连接设置，另一端包含有第一螺旋锥齿轮，所述第二传动轴上包含有第二螺旋锥齿轮和第三螺旋锥齿轮，所述第三传动轴一端包含有第四螺旋锥齿轮，另一端与法兰盘连接设置，所述第一螺旋锥齿轮与第二螺旋锥齿轮啮合传动设置，所述第三螺旋锥齿轮与第四螺旋锥齿轮啮合传动设置；所述螺旋锥齿轮与对应的传动轴均为一体式设置。

进一步的，所述螺旋锥齿轮的螺旋角度均为12°～20°。

进一步的，所述第一传动轴上开设有与驱动电机动力输出轴连接设置的轴孔，所述轴孔内设置有内花键槽，所述第一传动轴的外表面上均匀设置有用于定位所述动力输出轴的3个径向销孔。

进一步的，所述法兰盘包括法兰腔体、法兰盖板、法兰腔板和压力块，所述法兰盖板设置在法兰腔体的开口侧，所述法兰腔板设置在法兰腔体内，所述法兰腔板上开设有两个对称的U型凹槽，所述法兰腔板的中心位置设置有连接孔，所述连接孔内开设有花键槽，两个所述压力快分别与两个U型凹槽对应间隙设置，且所述压力块固定设置在法兰腔体的内壁上。

进一步的，还包括碟形弹簧，所述碟形弹簧设置在压力块与U型凹槽侧壁相对的两侧壁上。

进一步的，还包括扭力传感器，所述扭力传感器设置在U型凹槽侧壁上。

进一步的，所述驱动电机为弱电驱动电机。

有益效果：本实用新型的齿轮和传动轴均为一体式设置，且连接方式为花键连接，相比现有的平键连接提高了传动的稳定性，增加了设备的使用寿命，法兰盘内设置有法兰腔板和扭力传感器，可以提升传动稳定性和检测扭矩的变化，而且设备采用弱电驱动，安全可靠，设备体积小、操作简单。

附图说明

附图1为本实用新型的整体结构示意图；

附图2为本实用新型的减速器传动示意图；

附图3为本实用新型的第一传动轴结构示意图；

附图4为本实用新型的法兰盘结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作更进一步的说明。

如附图1，一种电机控制装置，包括机体1、控制器3、驱动电机2、减速器6和法兰盘8，所述所述控制器3设置在机体1内，所述机体1内还设置有驱动电机2，所述控制器3与驱动电机2电性连接，所述驱动电机2的动力输出端设置有减速器6，所述减速器6的动力输出端设置有法兰盘8，所述法兰盘8与外接载体连接设置。所述驱动电机2为弱电驱动电机。在机体1的上方设置有正反转开关4和电源控制开关5，在减速器的上方还设置有防尘盖7。

如附图2，所述减速器6包括第一传动轴60、第二传动轴64和第三传动轴66，所述第一传动轴60与第三传动轴66位于同一直线上，所述第二传动轴64设置在减速器机体上，且第二传动轴64与第一传动轴60垂直设置；所述第一传动轴60的一端与驱动电机2的动力输出端连接设置，另一端包含有第一螺旋锥齿轮61，所述第二传动轴64上包含有第二螺旋锥齿轮62和第三螺旋锥齿轮63，所述第三传动轴66一端包含有第四螺旋锥齿轮65，另一端与法兰盘8连接设置，所述第一螺旋锥齿轮61与第二螺旋锥齿轮62啮合传动设置，所述第三螺旋锥齿轮63与第四螺旋锥齿轮65啮合传动设置；所述螺旋锥齿轮与对应的传动轴均为一体式设置。所述螺旋锥齿轮的螺旋角度均为12°～20°。此角度下的螺旋锥齿轮传动效率最好，承载力较大，且传动噪音低。