[实用新型]电容式压力传感器及压力测量电路有效
| 申请号： | 201720666871.6 | 申请日： | 2017-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN207163608U | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | 霍红颖;湛邵斌;胡涛;卢鑫;陈三风 | 申请（专利权）人： | 深圳信息职业技术学院;湛邵斌 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所44237 | 代理人： | 官建红 |
| 地址： | 518029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电容 压力传感器 压力 测量 电路 | ||
1.一种电容式压力传感器，其特征在于，包括：设有一空腔的衬底、可动薄膜和叉指电容；
所述可动薄膜设置在所述衬底的空腔的上部，所述可动薄膜与所述衬底固定连接；
所述叉指电容包括固定电极和可动电极，所述固定电极设置在所述衬底上，所述可动电极设置所述可动薄膜上。
2.根据权利要求1所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述固定电极包括第一连接端以及与所述第一连接端一体成型的若干固定叉指，所述第一连接端与所述衬底固定连接。
3.根据权利要求1所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述可动电极包括第二连接端以及与所述第二连接端一体成型的若干可动叉指，所述第二连接端与所述可动薄膜固定连接。
4.根据权利要求1所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述空腔的形状为立方体或圆柱体。
5.根据权利要求4所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述空腔的截面形状为梯形，且梯形的上底边长大于下底边长。
6.根据权利要求2所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述固定电极的第一连接端与所述衬底连接部分设有绝缘层。
7.根据权利要求1-6任一项所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述衬底和所述可动薄膜的材料均为半导体材料。
8.一种压力测量电路，其特征在于，包括如权利要求1-7任一项所述的电容式压力传感器，以及电源模块和电感器；
所述电容式压力传感器与所述电感器的一端电连接，所述电源模块分别与所述电容式压力传感器的另一端和所述电感器的另一端电连接。
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