[实用新型]一种单晶体硅加工用抛光装置

权利要求书

1.一种单晶体硅加工用抛光装置，包括托盘（9）和桌面（12），其特征在于：所述桌面（12）上固定连接有套环（3），所述套环（3）内设有托盘（9），所述托盘（9）下表面通过弹簧（11）固定连接于顶板（10），所述顶板（10）下表面中心处与液压杆（8）的伸缩端固定连接，所述液压杆（8）固定在机架（6）上，所述桌面（12）的一侧与立柱（14）的底端固定连接，所述立柱（14）的顶部安装有电机（1），所述电机（1）的输出转轴上安装有抛光盘（2），所述桌面（12）的另一侧安装有开关盒（4），所述机架（6）上还安装有真空泵（7）。

2.根据权利要求1所述的一种单晶体硅加工用抛光装置，其特征在于：所述套环（3）的两侧均设有用于单晶硅切片通过的通槽（13），所述通槽（13）与桌面（12）以及托盘（9）的上表面重合，所述抛光盘（2）、套环（3）和托盘（9）的中心位于同一竖直线上。

3.根据权利要求1所述的一种单晶体硅加工用抛光装置，其特征在于：所述托盘（9）的内部设有空腔（903），所述托盘（9）的上表面设置有第一气孔（901）和第二气孔（902），所述第一气孔（901）呈同心圆分布，且第一气孔（901）位于第二气孔（902）的外侧。

4.根据权利要求3所述的一种单晶体硅加工用抛光装置，其特征在于：所述空腔（903）与导管（5）的顶端连通，所述导管（5）的另一端连接于真空泵（7）。

5.根据权利要求1所述的一种单晶体硅加工用抛光装置，其特征在于：所述托盘（9）的顶部固定连接有防滑垫（15），所述防滑垫（15）由橡胶制成，所述弹簧（11）呈圆环形且间隔分布。

6.根据权利要求1所述的一种单晶体硅加工用抛光装置，其特征在于：所述开关盒（4）分别与电机（1）、真空泵（7）以及驱动液压杆（8）的液压泵电性连接。