[实用新型]调整机构及包含该调整机构的测量平台有效

专利信息
申请号: 201720673845.6 申请日: 2017-06-12
公开(公告)号: CN206773288U 公开(公告)日: 2017-12-19
发明(设计)人: 杨海峰;连君素 申请(专利权)人: 宁波舜宇仪器有限公司
主分类号: G02B21/24 分类号: G02B21/24;G01N21/84
代理公司: 北京谨诚君睿知识产权代理事务所(特殊普通合伙)11538 代理人: 陆鑫,延慧
地址: 315400 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 调整 机构 包含 测量 平台
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种调整机构,尤其涉及一种测量显微镜手动精密调整机构;以及包含该调整机构的测量平台。

背景技术

测量显微镜广泛应用于半导体、PCB、LCD、手机产业链模具五金、汽车、计量器具等各行业。常规测量显微镜的精密平台只有两种移动速度,普通速度和高速,平台的普通速度取决于丝杆的螺距,无法应对高倍率下的小视场微调取点的应用。

客户在使用不同倍率物镜的时候,需求的平台移动速度也有差异,200X以下的低倍由于视野较大,因此要求的移动速度也相对较快,200X以上的高倍视野较小,要求的移动速度也相应的降低,普通的测量显微镜手动精密平台只能根据丝杆的螺距定义移动速度,无法满足客户在不同倍率下的速度需求。

中国专利201320046784.2公开了一种精密仪器用的微调旋钮装置,主要应用于显微镜Z轴的调焦,高倍焦距的寻找,该装置为外接式微调装置,采用加持式的介入方式,受限于外形较大,因此无法应用于精密测量平台上,X/Y方向会引起干涉,由于没有与手轮的导向轴孔,装夹在调节手轮上并不稳固,而且无法保证同轴,加持在手轮上后,只能实现微调功能,将限制原有机器的正常移动速度。

中国专利201320546065.7公开了一种即插即用式精细微调旋钮装置,该装置与CN201320046784.2专利区别在于装夹方式上,其他功能和问题一致,同样无法安装在精密移动平台上。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种结构简单,调整速度快,可以实现粗略调整和精密调整的调整机构,以及包含该调整机构的精度高,结构合理且操作简便的测量平台。

为实现上述实用新型目的,本实用新型提供一种调整机构,包括:

传动机构;

壳体,用于安装所述传动机构;

拨轮,连接所述传动机构;

所述传动机构包括:

传动齿轮;

齿轮;

齿轮固定座,安装在所述壳体上,用于固定所述齿轮;

所述齿轮包括与所述传动齿轮相互啮合的啮合部和与所述拨轮相互连接的连接部。

根据本实用新型的一个方面,还包括:

限位螺钉,将所述拨轮与所述齿轮固定在所述齿轮固定座上。

根据本实用新型的一个方面,所述壳体包括盖板、筒形侧壁、安装板;

所述筒形侧壁具有拨轮侧板;

所述拨轮侧板上设有可以使所述拨轮外露的拨轮窗口。

根据本实用新型的一个方面,所述安装板具有通孔;

所述齿轮固定座安装在所述通孔旁;

所述传动齿轮与所述通孔同轴设置。

根据本实用新型的一个方面,所述传动齿轮包括安装端,与所述齿轮的所述啮合部啮合的工作端,以及连接动力源的动力输入端。

根据本实用新型的一个方面,所述盖板具有用于使所述传动齿轮的所述动力输入端伸出的孔。

根据本实用新型的一个方面,所述盖板与所述筒形侧壁可拆卸地连接。

一种测量平台,包括:

两组所述调整机构;

两组与所述调整机构的一侧对应连接的粗调手轮;

两组与所述调整机构的另一侧对应连接的传动装置;

操作平台,与两组所述传动装置连接,所述操作平台包括:工作台;支承台,支承所述工作台;所述工作台包括观察窗口。

根据本实用新型的一个方面,所述工作台还包括沿着径向延伸的第一滑轨,所述支承台包括沿着横向延伸的第二滑轨;

一组所述调整机构、一组所述粗调手轮和一组所述传动装置构成一个调整单元;

一个所述调整单元设置在所述工作台沿着横向上的另一侧,且与所述第一滑轨平行;

另一个所述调整单元设置在所述支承台的沿着径向上的一侧上,且与所述第二滑轨平行。

根据本实用新型的一个方面,所述支承台还包括位于所述工作台的沿着横向上的一侧用于限制所述工作台主动沿着横向移动的限位台。

根据本实用新型的调整机构,其结构简单合理,调整速度快,且通过拨动拨轮部分带动齿轮和传动齿轮转动,传动齿轮连接外部传动装置或者调节装置,从而达到微调的作用。通过拨轮的旋转来实现外接装置的位移少量变化,即精密调整。

根据本实用新型的调整机构,通过旋转传动齿轮可以大幅度地且快速地运转根据本实用新型的调整机构,从而促使连接本实用新型的调整机构的外接装置可以粗略地调整位置,快速地位移,使得调整时间大幅缩短,提高工作效率。

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