[实用新型]一种单片阵列式石英晶体微天平传感器有效
| 申请号： | 201720676454.X | 申请日： | 2017-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN207113985U | 公开（公告）日： | 2018-03-16 |
| 发明（设计）人： | 华永校 | 申请（专利权）人： | 杭州光铭光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01G3/16 | 分类号： | G01G3/16 |
| 代理公司： | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙)33217 | 代理人： | 项军 |
| 地址： | 311258 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单片 阵列 石英 晶体 天平 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种单片阵列式石英晶体微天平传感器，其特征是：在一片石英晶片上呈矩阵式集成若干QCM单元，各QCM单元涂覆与测量相对应的敏感材料形成功能各异的QCM单元，配合低噪声振荡电路，形成各自的频率信号输出，各QCM单元设有退耦间隙用于隔离QCM单元之间的振动耦合，使QCM单元之间振动互不干扰各自独立工作。
2.根据权利要求1所述的单片阵列式石英晶体微天平传感器，其特征是：退耦间隙为在QCM单元振动区边缘开设的狭缝。
3.根据权利要求2所述的单片阵列式石英晶体微天平传感器，其特征是：所述狭缝对QCM单元振动区形成包围。
4.根据权利要求3所述的单片阵列式石英晶体微天平传感器，其特征是：所述狭缝为两条且呈[]型对称间隔布置。
5.根据权利要求3所述的单片阵列式石英晶体微天平传感器，其特征是：所述狭缝呈U形。
6.根据权利要求2所述的单片阵列式石英晶体微天平传感器，其特征是：所述狭缝的宽度和晶片厚度相同。
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