[实用新型]一种位敏阳极探测器有效
申请号: | 201720676707.3 | 申请日: | 2017-06-12 |
公开(公告)号: | CN206905898U | 公开(公告)日: | 2018-01-19 |
发明(设计)人: | 韦永林;赛小锋;刘永安;盛立志 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01J1/42 | 分类号: | G01J1/42;H01J40/16 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司61211 | 代理人: | 汪海艳 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 阳极 探测器 | ||
1.一种位敏阳极探测器,包括带有光电阴极(2)的阴极窗(1)、MCP电子倍增器(8)、位敏阳极和管状壳体,所述位敏阳极包括阳极绝缘衬底(20)以及设置在阳极绝缘衬底(20)上的金属膜阳极(18),所述阴极窗(1)、管状壳体及阳极绝缘衬底(20)构成真空密封腔;所述光电阴极(2)、MCP电子倍增器(8)与金属膜阳极(18)位于真空密封腔内;
其特征在于:
所述金属膜阳极(18)由n×n个独立阳极(24)沿水平方向并列排成阳极阵列,n的数值根据探测器空间分辨率要求确定,每个独立阳极(24)为正方形,相邻的独立阳极(24)之间设有绝缘沟道(23);各个独立阳极(24)具有长度相等的电极引线(21),所述电极引线(21)穿过阳极绝缘衬底(20)。
2.根据权利要求1所述的位敏阳极探测器,其特征在于:还包括卡簧(7),所述卡簧(7)用于固定MCP电子倍增器(8);
所述管状壳体包括依次叠放的铟封槽(3)、第一陶瓷环(4)、卡簧定位金属环(5)、第二陶瓷环(9)、第三陶瓷环(11)、环状MCP金属托盘(12)、第四陶瓷环(13)及金属下封环(14);
所述阴极窗(1)固定于铟封槽(3)上;
所述卡簧(7)压在MCP电子倍增器(8)输入面上,卡簧斜面(22)卡在卡簧定位金属环(5)上;所述MCP电子倍增器(8)安放在环状MCP金属托盘(12)上;
阳极绝缘衬底(20)还包括与其固连的金属封接环(19);所述金属下封环(14)与金属封接环(19)固连。
3.根据权利要求2所述的位敏阳极探测器,其特征在于:所述管状壳体还包括位于第二陶瓷环(9)与第三陶瓷环(11)之间的MCP间金属电极环(10);
所述MCP电子倍增器(8)采用2片MCP级联,呈V字形排列,安放在环状MCP金属托盘(12)上,2片MCP之间放置金属电极薄片环(15);所述金属电极薄片环(15)与MCP间金属电极环(10)连接;
或所述MCP电子倍增器(8)采用3片MCP级联,呈Z字形排列,相邻MCP间放置金属电极薄片环(15),下层金属电极薄片环(15)与MCP间金属 电极环(10)连接。
4.根据权利要求2至3任一所述的位敏阳极探测器,其特征在于:所述铟封槽(3)位于真空密封腔中的一侧壁设置有向真空密封腔延伸的铟槽平台(6)。
5.根据权利要求4所述的位敏阳极探测器,其特征在于:环状MCP金属托盘(12)设置有用于固定MCP电子倍增器(8)的MCP定位凸台(16)。
6.根据权利要求5所述的位敏阳极探测器,其特征在于:环状MCP金属托盘(12)上开有小孔(17);所述阴极窗(1)、管状壳体及阳极绝缘衬底(20)构成的真空密封腔为立方体结构。
7.根据权利要求6所述的位敏阳极探测器,其特征在于:所述阴极窗(1)与铟封槽(3)铟封粘接;管状壳体中各金属件和陶瓷件采用钎焊封接;所述金属电极薄片环(15)的厚度小于0.1mm;光电阴极(2)的阴极面与MCP输入面距离为1~3mm,MCP输出面与金属膜阳极(18)的距离为1~2mm;金属膜阳极(18)的厚度为300nm~1μm。
8.根据权利要求7所述的位敏阳极探测器,其特征在于:所述阴极窗(1)为石英玻璃材料,光电阴极(2)为CsK2Sb双碱阴极;或阴极窗(1)为氟化镁紫外玻璃材料,光电阴极(2)为CsI或Cs2Te多碱阴极;
所述阳极绝缘衬底(20)采用陶瓷或玻璃材料。
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