[实用新型]一种利用激光干涉测量位移的装置

说明书

技术领域

本发明涉及位移测量装置技术领域，具体为一种利用激光干涉测量位移的装置。

背景技术

利用激光的高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点，通过干涉原理来测定物体的位移是一种较为精准的位移测量方法，而当前的激光干涉测量装置多为单一的测量，而无法对干涉结果进行微调，导致接收到的干涉光波会产生模糊，同时普通的干涉测量装置在经过分光镜进行分光时，极易产生波形方向的微量变化，从而进一步影响测量结果。

发明内容

本发明的目的在于提供一种利用激光干涉测量位移的装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种利用激光干涉测量位移的装置，包括外壳，所述外壳内壁左部卡装有支撑架，所述支撑架上部卡装有单频激光发射器，所述支撑架下端卡装有光波接收分析仪，所述外壳内壁下表面右中部胶结有下镜座，所述外壳内壁右端设有滤镜架，所述滤镜架下部卡装有回光滤镜，所述滤镜架上部卡装有射光滤镜，所述外壳上内壁又部胶结有上镜座，所述上镜座与下镜座之间卡装有分光镜，所述外壳外壁上表面右中部胶结有螺纹筒，所述螺纹筒内部螺装有转壳，所述转壳内部卡装有直角圆锥镜。

优选的，所述外壳右壁处于射光滤镜与回光滤镜位置开有通孔。

优选的，所述分光镜倾斜角度为45度。

优选的，所述转壳与螺纹筒之间设有匹配的细质螺纹。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：通过转壳的转动，使得直角圆锥镜能够进行微量的位移，进而进行参考光线的微量调整，同时通过射光滤光镜和回光滤光镜对射出的激光与返回的激光进行杂波虑除，增加干涉效果，使得整个装置的位移测量更加精准清晰。

附图说明

图1为本发明的主剖结构示意图。

图中：1、外壳，2、下镜座，3、滤镜架，4、回光滤镜，5、射光滤镜，6、转壳，7、直角圆锥镜，8、螺纹筒，9、分光镜，10、支撑架，11、单频激光发射器，12、光波接收分析仪，13、上镜座。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1，本发明提供一种技术方案：一种利用激光干涉测量位移的装置，包括外壳1，为整个装置上的结构的安装直接或者安装基础，所述外壳1内壁左部卡装有支撑架10，对单频激光发射器11和光波接收分析仪12进行支撑和安装，所述支撑架10上部卡装有单频激光发射器11，产生单频激光，提供干涉光源，所述支撑架10下端卡装有光波接收分析仪12，接收干涉光波，并对干涉光波进行分析，进而得到位移量，所述外壳1内壁下表面右中部胶结有下镜座2，配合上镜座13对分光镜9进行固定安装，所述外壳1内壁右端设有滤镜架3，为回光滤镜4和射光滤镜5进行固定安装，所述滤镜架3下部卡装有回光滤镜4，对返回的激光进行杂波虑除，所述滤镜架3上部卡装有射光滤镜5，对分光后的激光进行杂波虑除，所述外壳1上内壁又部胶结有上镜座13，配合下镜座2进行使用，所述上镜座13与下镜座2之间卡装有分光镜9，对单频激光发射器11发射的单频激光进行分光处理，所述外壳1外壁上表面右中部胶结有螺纹筒8，配合转壳6实现对直角圆锥镜7的微量位移调节，所述螺纹筒8内部螺装有转壳6，带动直角圆锥镜7进行位移，所述转壳6内部卡装有直角圆锥镜7，将分光镜9反射的分光进行反射。

具体而言，所述外壳1右壁处于射光滤镜5与回光滤镜4位置开有通孔，使得射出和反射回来的激光提供路径。

具体而言，所述分光镜10倾斜角度为45度，更好的发挥分光效果。

具体而言，所述转壳6与螺纹筒8之间设有匹配的细质螺纹，保证位移量足够小，从而实现干涉效果的微调。

工作原理：进行位移测量时，启动单频激光发射器11，产生单频的激光束，激光束到达分光镜9时，平均分为两份，一份透过分光镜9经由射光滤镜5射出，同时另一束反射至直角圆锥镜7进行直角反射，射出的激光经由测量物体反射后，由回光滤镜4返回过滤，经由分光镜9与直角圆锥镜7反射会来的光束进行干涉，干涉光波进入光波接收分析仪12进行分析，得到位移量。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。