[实用新型]玻璃基板返洗装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种玻璃基板返洗装置，属于光刻玻璃技术领域。

背景技术

在光刻玻璃基板的生产线上，产生光刻不良品时，需要把不良品上的光阻从玻璃基板上返洗干净，从而再次投入使用。因为返洗溶液有酸碱二部分，其中酸部分用到的溶液是氨水，为了有效去除玻璃基板上的光阻，须让氨水经泵打出打到玻璃基板上。现有技术为了操作方便，仅在装氨水的外箱上加一块盖板，在没有玻璃基板时，氨水会直接打到盖板上，长时间的氨水腐蚀会使盖板与外箱之间产生缝隙，使氨水溶液溢到外箱的外面；同时溶液箱内产生的氨气也会从缝隙中冒出，从而产生设备污染和空气污染。

现有装置的缺点主要在于：为了有效地去除玻璃基板上的光阻，配制的返洗溶液的氨水浓度较高，泵的压力也很大，从而导致盖板与外箱间的缝隙很快地产生，且缝隙宽度扩大非常快。为此，需要对装氨水的外箱装置进行改造，阻止盖板与外箱产生缝隙现象的发生。

实用新型内容

本实用新型的目的是设计一种避免返洗溶液溢出的玻璃基板返洗装置，其目的是通过对外箱盖进行改造，消除现有技术中外箱盖与外箱之间因氨水喷射而产生的缝隙现象，从而减少对设备的损耗，同时消除返洗溶液溢出对环境的污染。

本实用新型的技术解决方案：玻璃基板返洗装置，其结构包括玻璃基板1、压力泵2、外箱3、外箱盖4、加固板5、蝶形螺丝6；其中玻璃基板1设于外箱3的内部，压力泵2设于外箱3的外侧下部，外箱盖4设于外箱3的顶部，4个加固板5分别设于外箱盖4的4条边上，每个加固板5上等距的设有3个蝶形螺丝6。

本实用新型的优点：

1）减少氨水、氨气产生的污染，保护设备、净化空气，保障工作人员健康；

2）结构简单，易于实施，成本低。

附图说明

图1是玻璃基板返洗装置结构示意图。

图2是玻璃基板返洗装置俯视图。

其中1是玻璃基板、2是压力泵、3是外箱、4是外箱盖、5是加固板、6是蝶形螺丝。

具体实施方式

如附图1-2所示，玻璃基板返洗装置，其结构包括玻璃基板1、压力泵2、外箱3、外箱盖4、加固板5、蝶形螺丝6；其中玻璃基板1设于外箱3的内部，压力泵2设于外箱3的外侧下部，外箱盖4设于外箱3的顶部，4个加固板5分别设于外箱盖4的4条边上，每个加固板5上等距的设有3个蝶形螺丝6，蝶形螺丝6上焊有垫片。

实际操作时，附有光阻的玻璃基板1浸在装有氨水溶液的箱子里，压力泵2会把氨水溶液压出喷射到玻璃基板上，溶液的浓度和压力的大小会根据光阻的材料成份及厚度而进行调节，玻璃基板移开时，氨水溶液喷射到外箱盖4上，外箱盖4大小与装有氨水溶液的外箱3上口尺寸一致，此时外箱盖4的四边，每边上都加了一块加固板5，每块加固板5上都有三颗已焊好垫片的蝶形螺丝6进行紧固，以前出现的因一段时间氨水溶液喷射到外箱盖4上而使得外箱盖4与外箱3会产生缝隙的现象被消除，解决了氨水、氨气溢出而污染设备与空气的问题。采用已焊好垫片的蝶形螺丝6进行紧固，其目的是缩短揭开外箱盖的时间，比用内六角螺丝的方法时间要缩短2/3。