[实用新型]测量系统

权利要求书

1.一种测量系统，其特征在于，包括：

透镜组件，其被配置为接收来自被测样品的反射光，并将所述反射光至少分为第一反射光和第二反射光；

成像单元，其被配置为接收所述第一反射光，以获取所述被测样品表面的成像数据，所述成像数据包括所述被测样品的至少一个检测区域中的至少一个被测区的分布信息；

膜厚测量单元，其被配置为接收所述第二反射光，用于获取所述至少一个被测区中指定的物的膜厚的数据；以及

处理单元，其与所述成像单元、所述膜厚测量单元通信连接，并且被配置为基于所述分布信息来确定所述至少一个被测区的检测路径，并基于所述至少一个被测区的检测路径来使得所述膜厚测量单元获得所述被测区的膜厚的数据，进而实现对所述至少一个检测区域中的指定的被测区的测量；

其中，在光学路径上，所述成像单元的光谱接收面、所述膜厚测量单元的光谱接收面被设置为与所述被测样品光学共轭。

2.如权利要求1所述的测量系统，其特征在于，所述处理单元基于所述分布信息来确定所述被测区的检测路径的过程包括：

基于所述被测样品表面的区域性特征来确定所述至少一个检测区域，进而确定所述至少一个检测区域的检测路径；以及

基于所述被测区的特征来确定所述被测区在所述至少一个检测区域中的分布，进而确定所述被测区的检测路径。

3.如权利要求1所述的测量系统，其特征在于，所述被测区包括凹陷或凸起。

4.如权利要求3所述的测量系统，其特征在于，当所述被测区包括被测孔时，确定所述被测孔在所述至少一个检测区域中的分布的过程包括：

所述处理单元基于所述成像数据获得圆孔信息，其中，所述圆孔信息包括圆孔分布以及圆孔特征信息；以及

所述处理单元基于所述被测孔的特征以及所获得的圆孔信息来确定所述被测孔的在所述被测样品表面的分布。

5.如权利要求1所述的测量系统，其特征在于，所述膜厚测量单元包括至少一个光阑，所述至少一个光阑沿光学路径设置在所述膜厚测量单元的光谱接收面和所述透镜组件之间，以使得所述膜厚测量单元的光谱接收面仅接收由所述被测区所产生的反射光。

6.如权利要求5所述的测量系统，其特征在于，所述膜厚测量单元包括第一光阑和第二光阑，其中，所述第一光阑用于滤除第一特性的反射光所述第二光阑用于滤除第二特性的反射光。

7.如权利要求6所述的测量系统，其特征在于，所述第一特性的反射光的反射角度小于所述第二特性的反射光的反射角度。

8.如权利要求6所述的测量系统，其特征在于，所述第一光阑与所述第二光阑同光轴地设置。

9.如权利要求8所述的测量系统，其特征在于，所述第一光阑的孔直径大于所述第二光阑的孔直径。

10.如权利要求1所述的测量系统，其特征在于，所述指定的被测区通过以下过程中的至少一项来确定：

所述处理单元根据所述至少一个被测区的检测路径来指定所述指定的被测区；和

所述处理单元响应于用户输入来指定所述指定的被测区。

11.如权利要求1所述的测量系统，其特征在于，还包括：

机台，其用于承载所述被测样品，并且在所述处理单元的控制下移动；以及

光源组件，其包括氙灯，用于提供入射至所述被测样品的入射光。