[实用新型]一种用于图形化蓝宝石衬底的加工装置有效
申请号: | 201720694138.5 | 申请日: | 2017-06-15 |
公开(公告)号: | CN206953310U | 公开(公告)日: | 2018-02-02 |
发明(设计)人: | 候想;仇凯弘 | 申请(专利权)人: | 福建中晶科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00;H01L21/304 |
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地址: | 364000 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 图形 蓝宝石 衬底 加工 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及蓝宝石衬底加工技术领域,尤其涉及一种用于图形化蓝宝石衬底的加工装置。
背景技术
通常,GaN基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上。蓝宝石衬底有许多的优点:首先,蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好;其次,蓝宝石的稳定性很好,能够运用在高温生长过程中;最后,蓝宝石的机械强度高,易于处理和清洗。因此,大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。
蓝宝石图形衬底也即蓝宝石衬底的图形化,对于提高 LED 出光效率具有工艺简单,而且效果稳定的特点,从各种统计数据可以看到,LED 出光效率至少提高 30%以上。较好的试验结果表明 LED 裸芯片可以提高 100%以上,封装后也有 50%的提高。使用图形衬底是当前 MOCVD 外延氮化物的必然选择。
在对蓝宝石衬底的图形化加工的第一步一般为对蓝宝石进行激光切割成型,激光切割装置的切割操作室若不与外界进行隔离会存在安全隐患,但若存在隔离室,在放入待加工蓝宝石和取出加工完成蓝宝石时过程会比较繁琐,工作人员需要将身体放入切割室中,这无疑也是一种很大的安全隐患。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种用于图形化蓝宝石衬底的加工装置。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种用于图形化蓝宝石衬底的加工装置,包括装置外壳,所述装置外壳为长方体结构,装置外壳的底端内壁上固定连接有固定块,装置外壳的一侧内壁上固定安装有第一推杆电机,所述固定块的顶端滑动连接有滑动块,所述滑动块的顶端固定连接有放置块,所述滑动块的一侧与第一推杆电机的输出轴固定连接,所述装置外壳的一侧开设有开口,且装置外壳靠经开口的一侧转动连接有隔离板,所述隔离板的一侧开设有滑动槽,隔离板与滑动块之间设有斜杆,所述斜杆为长方体结构,斜杆的一端与滑动块的一侧转动连接,且斜杆的另一端与滑动槽滑动连接,所述斜杆上开设有滑动口,滑动块的一侧固定安装有第二推杆电机,所述第二推杆电机的输出轴上固定连接有横杆,所述横杆的一端与滑动块的一侧滑动连接,且横杆通过滑动口贯穿斜杆,横杆与滑动口的内壁滑动连接。
优选的,所述装置外壳靠近隔离板的一侧底端开设有凹槽,所述凹槽与隔离板的一侧相配合。
优选的,所述放置块位于滑动块顶端靠近开口的一侧,且放置块的顶端开设有放置槽。
优选的,所述装置外壳的顶端内壁上固定安装有激光切割头。
优选的,所述固定块的顶端靠近第一推杆电机的一侧固定安装有限位块,所述限位块共有两个,且两个限位块分别分布于第一推杆电机的输出轴两侧。
本实用新型的有益效果是:通过将放置块安装在滑动块上,可通过第一推杆电机的推动将滑动块推出装置外壳,其中隔离板与滑动块之间连接有斜杆,推动滑动块即可将隔离板打开到第一状态,通过第二推杆电机可进一步打开到第二状态,整个过程均为电机推动,更加方便快捷,由于蓝宝石在切割过程中由隔离板隔离,更加安全。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种用于图形化蓝宝石衬底的加工装置的隔离板关闭状态示意图;
图2为本实用新型提出的一种用于图形化蓝宝石衬底的加工装置的斜杆与滑动块连接位置俯视图;
图3为本实用新型提出的一种用于图形化蓝宝石衬底的加工装置的隔离板第一打开状态示意图;
图4为本实用新型提出的一种用于图形化蓝宝石衬底的加工装置的隔离板第二打开状态示意图。
图中:1装置外壳、2固定块、3第一推杆电机、4滑动块、5开口、6隔离板、7滑动槽、8斜杆、9放置块、10凹槽、11第二推杆电机、12滑动口、13横杆、14限位块。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
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